Полупроводниковый термоанемометр Советский патент 1991 года по МПК G01P5/12 

фиг.1

Изобретение относится к приборостроению и может быть использовано для измерения скоростей потока воздуха.

Целью изобретения является повышение чувствительности.

На фиг.1 показана схема термоанемометра; на фиг.2 - его градуировочная характеристика.

Полупроводниковый термоанемометр содержит чувствительные элементы 1, контакты 2, токовыводы 3. Перегрев чувствительного элемента 1 осуществляется от стабилизированного источника А постоянного тока. Падение напряжения на чувствительном элементе 1 измеряют цифровым измерительным прибором 5, ток через образец - милиамперметром 6. Чувствительный элемент укреплен на кольцевой державке 7.

Параметры чувствительного элемента 1 (игольчатый монокристалл теллура, легированного серебром с концентрацией (07- 1,3) 10 ат.%, следующие: удельное сопротивление - 0,4 Ом см, общее сопротивление 100-200 Ом, длина 3-4 мм, средний диаметр 150-200 мкм, конусность dR/cl -5%.

Полупроводниковый термоанемометр изготовлен следующим образом.

К чувствительному элементу 1 методом электроимпульсой приварки золотого микропровода создаются контакты 2, являющиеся одновременно токовыводами 3. Чувствительный элемент 1 с гоковыводами 3 устанавливают посредине фторопластовой державки 4.

Имеются также источник 5 тока и измерительные приборы 6 и 7.

Полупроводниковый термоанемометр работает следующим образом.

Чувствительный элемент 1 с помощью соединительных проводов, контактов 2 и то- ковыводов 3 подключают в измерительную схему, содержащую стабилизированный источник 5 постоянного тока, измерительные цифровые приборы 6 и 7, кольцевую державку 4 устанавливают на выходе кварцевой трубы, через которую продувают поток воздуха с определенной скоростью и температурой. Экспериментально подбирают ток перегрева чувствительного элемента (10- 16 мА), обеспечивающий высокую чувствительность и требуемый температурный интервал работы (например 20+50°С). Строят градуировочную кривую A (V), где AU Uv-U0 (разность между падением напряжения на чувствительном элементе при наличии потока и при его отсутствии). Температуру потока определяют с помощью

того же чувствительного элемента 1 в режиме терморезистора. Полученная градуировочная кривая приведена на фиг.2 для комнатной температуры и MA.

Затем, пользуясь указанной градуировочной кривой, определяют неизвестную скорость потока При этом термоанемометр с державкой 4 располагают либо непосредственно в исследуемом потоке, либо на его выходе.

Формула изобретения

Полупроводниковый термоанемометр, содержащий чувствительный элемент, выполненный из монокристалла теллура, контакты и токоподводы, отличающийся

тем, что, с целью повышения чувствительности, монокристалл теллура выполнен в виде конуса с величиной конусности 5% и легирован серебром с концентрацией (07,-4

1,3) Ю чат.%.

200 i i i

II

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для измерений малых скоростей газовых потоков. Целью изобретния является повышение чувствительности. Чувствительный элемент 1, выполненный в виде конического нитевидного монокристалла из теллура, легированного серебром с концентрацией

0

W

Фиг. 2