Устройство для микроэлектрических коррозионных исследований Советский патент 1991 года по МПК G01N17/00 

вертикально о гидравлического манипулятора с гидравлическим плунжерным нагосом и микрометрическим индикатором 1 1 .

Двухкоордннатный горизонтальный манипулятор состоит из двух одинаковых взаимно перпендикулярных систем горизонтального перемещения, каждая из которых имеет винт 12 перемещения пружину 13 с толкателем 14 и пробкой 15, обеспечивающие движение кольца 16 и шайбы 17, соединенных подвижно с втулкой 18. Втулка 18 закреплена на объективе 6 винтом 19.

Вертикальный гидравлический манипулятор состоит из штока 20 с кронштейном 21, корпуса 22 с крышкой 23, пружины 24 и мембраны 25. Гидравлический плунжерный насос состоит из корпуса 26, плунжеров 27 с резьбой для микро- и макроподачи, салыгико- вой гайки 28 и сальника 29. Для перемещения жидкости из насоса в манипулятор имеется гибкий трубопровод 30.

Устройство работает следующим образом.

На кронштейне 21 устанавливают электроды 3. Используя систему трех- координатной манипуляции, в фокус объектива 6 вводят рабочие части (острие) электродов 3. В ячейку 1 заливают электролит 2. Используя систему 31 перемещения микроскопа 5, электроды 3 подводят к выбранному участку поверхности исследуемого объекта 32. При этом в электролите 2 за счет преломления увеличивается фокусное расстояние объектива 6 и для сохранения видимости рабочей части электродов 3 вертикальным гидравлическим манипулятором производятся их вертикальное оперативное перемещение и совмещение с фокусом объектива 6. С использованием микрометрического индикатора 11 электроды 3 устанавли0

5

0

5

0

5

0

5

нают на необходимом расстоянии от поверхности обьекта 32. После чтого производят измерение потенциала и сопротивления участка контроля. При переходе на новый участок исследования системой 31 перемещения производят совместное перемещение объектива 6 и электродов 3 без дополнительной настройки. I

Устройство позволяет оперативно производить микроэлектрохимические исследования нескольких углублений, язв, трещин, питтингов на поверхности объекта 32.

Формула изобретения

Устройство для микроэлектрических коррозионных исследований, содержащее ячейку для электролита и размещения в ней испытуемого образца, микроскоп, электроды с микрокапиллярами, установленные с возможностью перемещения в трех вазимно перпендикулярных направлениях, и систему регистрации электрохимических параметров поверхности образца, отличающееся тем, что, с целью повышения точности за счет учета влияния коэффициента преломления лучей в электролите, электроды с микрокапиллярами установлены с возможностью жесткого, соединения с объективом микроскопа, а устройство снабжено средством дополнительного перемещения электродов с микрокапиллярами вдоль оси объектива, выполненным в виде гидравлического насоса и сообщенным с ним посредством гибкого трубопровода гидроцилиндра, шток которого параллелен оси объектива и жестко связан с электродами с микрокапиллярами, а корпус гидроцилиндра жестко связан с объективом.

Изобретение относится к испытательной технике, а именно к микроэлектрохимическим исследованиям. Целью изобретения является повышение точности за счет учета влияния коэффициента преломления лучей в электролите. Средство перемещения микроэлектродов 3 выполнено так, что имеет возможность самостоятельного перемещения по трем координатам и совместно с объективом 6. Кроме того,средИзобретение относится к испытатель- нон технике, а именно к мпкроэлектро- химическим исследованиям. Целыэ изобретения является повышение точности за счет учета влияния коэффициента преломления лучей в электролите. На чертеже приведена схема устройства. Устройство состоит из ячейки 1 для электролита двух пеполяризуюство перемещения микроэлектродов 3 вдоль оси объектива 6 выполнено так, что при жестком .соединении микроэлектродов 3 с объективом 6 обеспечивает их самостоятельное перемещение. Это средство выполнено в виде гидравлического плунжерного насоса, который посредством гибкого трубопровода 30 связан с полостью крышки 23 и давление посредством мембраны 25 передается на шток 20, на котором установлен кронштейн 21. Корпус 22 посредством крышки 28 жестко соединен с шайбой 17 и кольцом 16. Шайба 17 установлена с зазором относительно объектива 6, а кольцо 16 жестко связано с шайбой 17 и установлено с зазором относительно втулки 18, неподвижно закрепленной на объективе винтом 19. Посредством двух винтов 12, расположенных в одной плоскости перпендикулярно друг другу, осуществляется самостоятельное перемещение микроэлектродов в двух координатах в плоскости, перпендикулярной оси объектива.1 ил. щихся электродов 3 с установленными коакснально в микрокапиллярах дополнительными платиновыми электродами 4, системы трехкоординатной манипуляции, микроскопа 5 с объективом 6, измерителями 7 напряжения постоянного тока, измерителя 8 сопротивления на переменном токе, блока 9 деления и регистратора 10.Система трехкоординатной манипуляции состоит из двухкоординат- ного горизонтального манипулятора С в (Л & ел 00 00 СП