Проекционный объектив с увеличением - 1/5 @ Советский патент 1991 года по МПК G02B13/22 G02B13/24 

Ј

Изобретение относится к оптическому приборостроению и м.б. использовано в микроэлектронике. Цель изобретения - увеличение числовой апертуры и поля зрения при телецентрическом ходе лучей в пространстве предметов. Объектив содержит положительные мениски 1, 3, 9,10,13, 18, отрицательные мениски 4, 6, 11, 12, двояковыпуклые линзы 2, 7, 8, 14-16. Числовая апертура 0,35; поле зрения 21,2 мм. 2 ил.

Плоскость 2 J предметов I I

5$

У

Плоскость изображений

Os СЛ Ч) Ч) СЛ СЛ

Фиг. 1

Изобретение относится к оптическим системам и может найти применение в микроэлектронике в проекционных системах экспонирования для изготовления полупроводниковых приборов.

Цель изобретения - увеличение числовой апертуры и поля зрения при телецентрическом ходе лучей в пространстве предметов.

На фиг.1 приведена оптическая схема предложенного объектива; на фиг.2 - ЧКХ объектива.

Объектив состоит из восемнадцати линз, собранных в четырнадцать компонентов, и апертурной диафрагмы.

Первый компонент состоит из положительного мениска 1 и двояковыпуклой линзы 2 и положительного мениска 3.

Положительный мениск 1, обращенный вогнутостью к плоскости предметов, выполнен из крона и имеет соотношение радиусов 3,17:1. Двояковыпуклая линза 2 выполнена из крона с соотношением радиусом 1:2,59. Положительный мениск 3, обращенный выпуклостью к плоскости предметов, выполнен из крона и имеет соотношение радиусов 1:5,24.

Второй компонент - отрицательный мениск 4, обращенный выпуклостью к плоскости предметов, выполнен из легкого флинта, с соотношением радиусов 19,36:1.

Третий компонент - двояковогнутая линза 5, выполненная из легкого флинта с соотношением радиусов 1:2,23.

Четвертый компонент - отрицательный мениск 6, обращенный вогнутостью к плоскости предмета, выполнен из крона с соотношением радиусов 1:1,26.

Пятый компонент - двояковыпуклая линза 7, выполненная из особого крона с соотношением радиусов 12,02:1, расположенный за четвертым компонентом на расстоянии от него, равном 0,035 фокусного расстояния объектива.

Шестой компонент - двояковыпуклая линза 8, выполненная из особого крона с соотношением радиусов 1:1,30.

Седьмой компонент - положительный мениск 9, обращенный выпуклостью к плоскости предметов, выполнен из особого крона с соотношением радиусов 1:6,71.

Восьмой компонент - положительный мениск 10, обращенный выпуклостью к плоскости предметов, выполнен из тяжелого крона с соотношением радиусов 1:1,6.

Девятый компонент - отрицательный мениск 11, обращенный выпуклостью к плоскости предметов, выполнен из легкого флинта с соотношением радиусов 12,18:1.

Десятый компонент - отрицательный мениск, обращенный вогнутостью к плоскости предметов и склеенный из отрицательного 12 и положительного 13 менисков,

выполненных из легкого флинта и крона соответственно, разность показателей преломления линз, входящих в компонент, составляет 0,07. Разность дисперсии 22,65, а соотношение наружных радиусов 1:1,4t.

0 Одиннадцатый компонент - двояковы-. пуклая линза 14, выполненная из особого крона с соотношением радиусов 4,72:1.

Двенадцатый компонент - двояковыпуклая линза 15, выполненная из особого

5 крона с соотношением радиусов 1:2,64.

Тринадцатый компонент - положительный мениск, обращенный выпуклостью к плоскости предметов, и склеенный из двояковыпуклой 16 и двояковогнутой 17 линз,

0 выполненных из легкого крона и легкого

флинта; разность показателей преломления

линз составляет 0,12, разность дисперсий

- 25,5, а соотношение наружных радиусов

1,24:1; расположен за двенадцатым компо5 нентом на расстоянии от него, равном 0,032 фокусного расстояния объектива.

Четырнадцатый компонент - положительный мениск 18, обращенный выпуклостью к плоскости предметов, выполнен из

0 легкого флинта с соотношением радиусов 1:3,46.

Объектив имеет высокую степень коррекции аберрации для области спектра 365,0±4 мм. Увеличение объектива -

5 Апертура 0,35, поле зрения 21,2 мм.

Продольная сферическая аберрация не более - 0,00727, астигматическая разность не более 0,003 мм, дисперсия не более - 0,0004%, хроматизм увеличения не более

0 0,00037 мм, аберрации широких меридиональных пучков не более 0,00252 мм.

По предложенной принципиальной схеме рассчитан также объектив со спектральным диапазоном работы 404,66±5 мм.

5

Формула изобретения Проекционный объектив с увеличением - 1 /5х, содержащий одиннадцать компонентов и апертурную диафрагму, причем пер0 вый компонент - отрицательный мениск, обращенный выпуклостью к предмету, второй - отрицательный мениск, третий - двояковыпуклая линза, четвертый положительная линза, пятый - положитель5 ный мениск, обращенный выпуклостью к предмету, шестой - мениск, обращенный выпуклостью к предмету, седьмой - отрицательный мениск, обращенный выпуклостью к предмету, восьмой - отрицательный мениск, обращенный вогнутостью к предмету.

девятый - положительная линза, десятый - двояковыпуклая линза, одиннадцатый - положительный мениск, обращенный выпуклостью к предмету и склеенный из положительной и отрицательной линз, о т л и чающийся тем, что, с целью увеличения числовой апертуры и поля зрения при телецентрическом ходе лучей в пространстве предметов, перед первым компонентом установлен положительный компонент из двух положительных менисков, обращенных выпуклостью друг к другу, и двояковыпуклой линзы между ними, между первым и вторым компонентами установлена двояковогнутая линза, второй компонент обращен вогнутостью к предмету, четвертый выполнен в виде двояковыпуклой линзы, шестой выполнен положительным, восьмой выполнен склеенным из отрицательного и положительного менисков, девятый выполнен в 5 виде двояковыпуклой линзы, за одиннадцатым компонентом установлен положитель- ный мениск, обращенный выпуклостью к предмету, при этом апертурная диафрагма размещена за седьмым компонентом на

10 удалении от него, равном 0,01 фокусного расстояния объектива, расстояние между вторым и третьим компонентами составляет 0,035 фокусного расстояния объектива, а расстояние между десятым и одиннадцатым

15 компонентами составляет 0,032 фокусного расстояния объектива.

750 э 1000

Фиг. 2

1,/ UH/MM