Проекционный объектив с увеличением - 1/5 @ Советский патент 1987 года по МПК G02B13/24 

Изобретение относится к оптическим системам и может найти применение в микроэлектронике в проекцион- ных системах экспонирования для изготовления полупроводниковых приборов.

Цель изобретения - увеличение апертуры и улучшение коррекции аберраций для спектрального диапазона 404,6 ± 5 нм.

На фиг.1 приведена оптическая схема объектива, а на фиг.2 - частотно-контрастные характеристики объектива.

Объектив состоит из четырнадцати линз, собранных в одиннадцать компонентов (фиг.1), первый из которых отрицательньш мениск 1, обращенный выпуклостью к плоскости предмета,второй - отрицательный мениск 2, обращенный выпуклостью к плоскости предмета, третий - двояковыпуклая линза

3,четвертый - положительный мениск

4,обращенный выпуклостью к плоскости предмета, пятый - положительный: мениск 5, обращенный выпуклостью к плоскости предмета, шестой - отрицательный мениск, обращенный выпуклостью к плоскости предмета и склеенный И.З положительного 6 и отрицательного 7 менисков. За шестым компонентом расположена диафрагма на расстоянии от него, равном 0,058 фокусного расстояния объектива. Седьмо компонент - отрицательный мениск 8, обращенный выпуклостью к плоскости предмета, восьмой - отрицательный мениск 9, обращенный вогнутостью к плоскости предмета, девятый - положительный мениск, обращенный вогнутостью к плоскости предмета и склеенный из двояковогнутой 10 и двояковыпуклой 11 линз, десятый - двояковыпуклая линза 12, одиннадца- тьй - положительный мениск, обращенный выпуклостью к плоскости предмета и склеенный из положительного 13 и отрицательного 14 менисков.

Объектив ахроматизован и имеет высокую .степень коррекции аберраций для Л 404,615 нм. Данный объектив имеет увеличение - 1/5 , апертуру 0,30, поле зрения 2у 20 мм, фокусное расстояние f 118,67 мм.

Формула изобретения

Проекционный объектив с увеличением - 1/5 , включающий девять компонентов и диафрагму, первый и второй из которых - отрицательные мениски, обращенные выпуклостью к плоскости предмета, третий - двояковыпуклая линза, четвертый - положительная линза, пятый - положительный мениск,обращенный выпуклостью к плоскости предмета, шестой - отрицательный мениск, обращенный выпуклостью к плоскости предмета, склеенный из положительного и отрицательного менисков, седьмой - мениск, обращенный вогнутостью к плоскости предмета, склеен- ньм из двояковогнутой и двояковыпуклой линз, восьмой - двояковыпуклая линза, а девятый - положительный мениск, обращенный выпуклостью к плоскости предмета, отличающий- с я тем, что, с целью увеличения апертуры и улучшения коррекции абер- .раций, за шестым компонентом на расстоянии, равном 0,080 фокусного расстояния объектива, введен отрицатель- ный мениск, обращенный выпуклостью к плоскости предмета, за которым на расстоянии, равном 0,19 фокусного расстояния объектива, введен отрицательный мениск, обращенный вогнутостью к плоскости предмета, причем четвертый компонент выполнен в виде мениска, обращенного выпуклостью к плоскости предмета, седьмой компонент - положительный, а диафрагма расположена за шестым компонентом на расстоянии, равном 0,058 фокусного расстояния объектива.

«М

Изобретение может быть использовано в микроэлектронике в проекционных системах экспонирования.Цель изобретения - увеличение апертуры и улучшение коррекции аберраций. В объективе положительный мениск 4 обращен выпуклостью к плоскости предмета. На расстоянии 0,08 фокусного расстояния объектива от склеенных положительного 6 и отрицательного 7 менисков размещен отрицательный мениск 8, обращенный вогнутостью к плоскости предмета, за которым на расстоянии 0,19 фокусного расстояния объектива установлен отрицательный мениск 9. Диафрагма удалена от шестого компонента на 0,058 фокусного расстояния объектива. Объектив ахроматизован и имеет апертуру 0,30, поле зрения 2у 20 мм. 2 ил. J 56189101112131 njjOCHQcmb азобра. WGHUM со о со со --J го fPaz.l

Редактор М. Петрова

Составитель В, Архипов

Техред И.Попович Корректор М. Демчик

Заказ 1307/47Тираж 522 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР

по делам изобретений и открытий 113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Производственно-полиграфическое предприятие г. Ужгород, ул. Проектная,4