Проекционный объектив Советский патент 1979 года по МПК G02B13/24 

гостью к плоскости предмета, четаертый - попожитепьный мениск, обращенный аогкутостью к плоскости предмета, пятый - попожитепьная пинаа, шестой трехпинэовый отрицат пьный мениск, обращенный выпуклостью к плоскости пре. меТа, и седьмой - положительный двухлинаовый мениск, обращенный выпуклостью к плоскости предмета, снабжен попожнтепьной линзой, расположенной за первым компонентом, и апертурной диафрагмой, установленной за третьим KOS понентом на расстоянии от него, равном 0,126 фокуснсмго расстояния всего объектнйа, при этом отрицательный мениск третьего компонента выполнен двухсклеенным.

На чертеже представлена оптическая схема объектива.

Объектив состоит иэ восьми компонентов I-S.

Первый компонент 1 представляет собой положительную линзу двояковыпуклую, выполненную из тяжёлого крона с соотношением радиусов 1:12,8. Второй компонент - положительная линза, выполненная из сверхтяжелого крона с соотношением радиусов 1:7,67. Компонент 3 - отрицательный склеенный ив двух линз 1.9 и 10 мениск, обращенный выпуклостью к плоскости предмета. Линзы 9 и 10 выполнены иа тяжелого крона и тя ядалого флинта соответственно, разность показателей преломления которых не превышает 0,ОО13 для линии б и разница коэффициентов дисперсии составляет 17. Четвертый компонент - отрицательный склеенный из линз 11 и 12 менис Линзы 11 и 12 выполнены из ТЯ БЛОГО флинта и из сверхтяжелого крона COOT ветственно, а соотношение их наружных радиусов равно 1:2. Компонент 5 - положительный мениск, обращенный вогнутостью к предмету, выполненный из сверхтяжелого крона с соотношением радиусов 1:0,62. Шестой компонент - положительная линза из сверхтяжелого крона с соотношением радиусов 1:1,31. Седьмой компонент - отрицательный склеенный из трех линз 13-15 мениск, обращенный выпуклостыо к плоскости предмета. При этом линзы 13-15 выполнены из сверхтяжелого крона, тяжелого флинта и крона соответственно. Разность показателей преломления для сверхтяжелого крона и тяжелого флинта-не превышает 0,001, разность коэффициентов дисперсии 22, а разность коэффициентов

дисперсии пары сверхтяжелый флинт и крон равна 33. Соотношение наружных радиусов мениска равно 1:0,27. Компо нент 8 - положительный склеенный иг двух линз 16 и 17 мениск, обращенный выпуклостыо к плоскости предмета. Линзы 16, 17 выполнены из баритового крона и сверхтяжелого крона соответст венно. Соотношение крайних радиусов равно 1:13,29.

Между третьим 3 и четвертым 4 компонентами установлена апертурная диафрагма 18 на расстоянии 0,126 от третьего компонента. Это обеспечивает телецентрический ход лучей в пространстве изображений.

Применение объектива повышает апертуру до 0,35, что позволяет получать элементы размером до 1 мкм и увеличить плотность компоновки активных элементов на кристалле.

Объектив найдет применение при .изготовлении сверхточнь1Х интегральных схем, что повысит функциональную сложность интегральных микросхем.

Тор м у л а и, 3 ,о б р е те н и я Проекционный объектив, содержащий семь компонентов, первый из которых положительная линза, второй - отрица- 4 тельный мениск, обращенный выпуклостью к плоскости предмета, третий - двухлинзовый мениск, обращенный вогнутостью к плоскости предмета, четвертый - положительный мениск, обращенный вогну- 3 тостью к плоскости предмета, пятый положительная линза, шестой - трехлинзовый отрицательный мениск, обращенный выпуклостыо к плоскости предмета, и седьмой - положительный двузглинзовый мениск, обращенный выпуклостыо к тглоскости предмета, отличающий € я тем, 4TOi с цеиыо увеличения апертуры, получения бездисторсионного изображения и телецентрического хода лучей 5 в простр анстве изображений, , он снабжен положительной линзой,расположенной за первым компонентом, и апертурной диафра мой,установленной за третьим компонентом на расстоянии отнего,равномО,126 фокус-, ного расстояния всего объектива,при этом отрицательный мениск третьего компонента выполнен двухсклеенным.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1.Авторское свидетельство СССР № 333525, кл. Q 02 В 9/64, 1971.

2.Авторское свидетельство CCCF № 486298, кл. Ci 02 В 9/64, 1973. 19 Л 17