Устройство для анализа состава и распределения по энергиям потока ионов Советский патент 1991 года по МПК H01J49/44 

U,

имгг

Ј -ЕО

Zte

(3) 55(k Ј) 5 В.

Изобретение относится к физике ионных пучков, а именно к масс-спектрометрии, может использоваться для проведения масс-спектрометрического анализа состава и распределения по энергиям потока ионов. Цель изобретения - повышение достоверности и упрощение анализа. Исследуемый поток ионов направляется через диафрагму-электрод 1, выделяющую часть пучка в тормозящую трубку 3, на которую от генератора 4 импульсов подается напряжение в виде прямоугольных импульсов. Ионы, прошедшие тормозящую трубку, направляются в энергоанализатор 6 и масс-анализатор 3. 1 п. ф-лы, 2 ил.

где Ј - энергия иона в потоке.

Достигаемый результат обусловлен тем, что торможение ионов осуществляется

Что касается величины df , то выбором конструкции энергоанализатора она может изменяться от единиц до десятков вольт.

По сравнению с известным предлагаемое устройство повышает достоверность и упрощает анализ результатов измерения. Кроме того при изготовлении данного устройства открывается возможность использовать основные узлы серийно выпускаемых квадрупольных масс-спектрометров без существенной переделки путем применения дополнительных элементов.

Таким образом, описываемая конструкция позволяет анализировать состав и распределение по энергиям потока ионов с энергиями в широком диапазоне.

Формула изобретения Устройство для анализа состава и распределения по энергиям потока ионов, содержащее входную диафрагму.

UUМП .В

3tomn.ed

Г

цилиндрический энергоанализатор, за которым расположен анализатор квадрупольно- го масс-спектрометра с входной и выходной диафрагмами, блоки питания анализаторов

и блок регистрации, отличающееся тем, что, с целью повышения достоверности и упрощения анализа, перед входной диафрагмой энергоанализатора установлена тормозящая поток ионов трубка с входной

диафрагмой-электродом, трубка электрически соединена с дополнительно введен- ным генератором прямоугольных импульсов напряжения, а диафрагма-электрод электрически соединен с дополнительно введенным регулируемым блоком постоянного напряжения, а в качестве блока регистрации использован импульсный интегрирующий усилитель.

1 I

Фаг. 2