Способ настройки режущего струнного инструмента Советский патент 1991 года по МПК B28D1/06 

фиг. 2

Изобретение относится к химическому машиностроению и может быть использовано при обработке кристаллов,

Цель изобретения - повышение нйсти настройки.

Способ нас тройки режуще го струнного инструмента включает обмотку с натяжени по пазам крепежных приспособлений струны с закреплением ее концов, контроль усилия натяжения. При этом пред- в арительно определяют критическое усилие разрыва и упругости отдельных с|трун инструмента в плоскости резания путем измерения величины провиса с|трун при помощи индикатора, а контроль усилия напряжения осуществляют путем замера величины провиса струн сравнения величины провиса с вели- 4иной провиса, соответствующим крити- ескому усилию разрыва.

На фиг. 1 изображен струнный ин- струмент с контролирующим прибором; на фиг. 2 - то же, разрез; на фиг.З to же, вид сверху

Рабочий инструмент, используемый $ способе, конструктивно выполнен 5 виде двух роликов 1, закрепленных в кассете 2, с параллельно натянуты- Ми на них струнами 3, Один из ропи- Ков 1 (с помощью регулировоччот о Јинта) может относительно другого поступательно перемещаться, натягивая

струны„ Во время работы таким рабочим инструментом струны с намазан- |ным на них абразивом в кассете перемещаются по плоскости объекта, выполненного в виде полупроводникового кристалла, а объект - медленно вверх к струнам, обеспечивая глубину резки. Способ настройки рабочего инструмента осуществляется с помощью несложного прибора конструкция которого состоит из опоры 4S на которой закреплена кассета 2 со струнами Зг индикатора 5S содержащего толкатель 6 со штоком 7 и пружиной 8, шкалу 9 со стрелкой 10. На штоке 7 имеется риска 119 фиксирующая критическое усилие толкателя 6.

Способ настройки рабочего инструмента, выполненного в виде параллельно натянутых струн 3, заключается в следующем.

На струну 3 или на рад струн нажимают толкателем б и фиксируют ее прогиб стрелкой 10 по индикатору 5 При равном силовом давлении, обеспе

0

5

д

0

5

чиваемом пружиной 8 и фиксируемом риской 11 на штоке 7 толкателя 6, отмечают и сравнивают отсчеты по шкале 9 индикатора 5 в разный период времени. Усилие пружины 8 подбирают исходя из критического усилия равным разрыву струны 3 и берут его чуть меньше т.е. с таким усилием, чтобы при рабочих измерениях толкателем 6 индикатора 5 невозможно было порвать струну 3 и в то же время усилие должно быть достаточным для создания наибольшего усилия на струну. Следовательно, вначале устанавливают рабочее усилие на струну 3, фиксируя ее в процессе измерения уровнем опускания индикатора, т.е. положением оправы индикатора относительно риски 11 на штоке 7 толкателя 6, и замечают стрелкой |0 начальный отсчет по шкале 9 индикатора 5. А затем при постоянном усилии давления на струну 3 (или струны 3)5 опуская оправу индикатора 5 до риски,, берут отсчет по шкале 9 индикатора 5 и сравнивают его с начальным отсчетом. При провисании струн 3 инструмента подтягивают один из роликов, добиваясь нулевого отсчета „

Объект, который режут таким инструментом, был взят из полупроводникового кристалла, например из материала германий, размером 20x4 к 0,13 мм. Струны 3 в кассете 2 были взяты диаметром 0,01-0,05 мм, число струн в кассете составляло 100-200. Точность резки кристалла составила: по глубине резки по всей площади кристалла не более 0,002 мм, по ширине нарезки на квадраты 0,003- мм, т.е. резка по взаимно перпендикулярным направлениям, оставляя недорезанную толщину кристалла в пределах 0,005-0,010 мм. Соблюдение такой точности резки необходимо для получения высококачественных параметров полупроводников. Ослабление струн вызывает неравную глубину резки кристалла по всей площади, непараллельность пазов в кристалле, неодинаковую их ширину. Повышение точности настройки предложенным способом увеличивается в 3-4 раза.

Формула изобретения

Способ настройки режущего струнного инструмента, включающий обмотку

с натяжением по пазам крепежных приспособлений струны с закреплением ее концов, контроль усилия натяжения, отличающийся тем, что, с целью повышения точности настройки, предварительно определяют критическое усилие разрыва и упругости отдель- I

ных струн инструмента в плоскости резания путем измерения провиса струн при помощи индикатора, а контроль усилия натяжения осуществляют путем замера провиса струн и сравнения этого провиса с провисом, соответствующим критическому усилию разрыва.

Изобретение относится к химическому машиностроению и может быть использовано при обработке кристаллов. Цель изобретения - повышение точности настройки. Настройка инструмента и контроль натяжения осуществляется путем установления на индикаторе 5 технологического устройства рабочего усилия пружины 8 толкателя 6, выбранного меньше критического усилия. Затем надавливают толкателем 6 с рабочим усилием на струны 3 и измеряют провис струн от первоначального положения натяжения струн, а после этого сравнивают этот провис с провисом, соответствующим критическому усилию разрыва. 3 ил.

Щиг.1

Фиг.З