Способ определения величины негерметичности изделия Советский патент 1991 года по МПК G01M3/02 

1

, (21)4718956/28 (22) 14.07.89 (46) 15.08.91. Бюл. №30

(71)Научно-производственное объединение им.С.А.Лавочкина

(72)А.М.Калачев и А.Г.Сергеев (53)620.165.29(088.8)

(56)Авторское свидетельство СССР № 1206638. кл. G 01 М 3/02, 1986.

(54) СПОСОБ ОПРЕДЕЛЕНИЯ ВЕЛИЧИНЫ НЕГЕРМЕТИЧНОСТИ ИЗДЕЛИЯ

(57)Изобретение относится к контролю герметичности масс-спектрометрическим методом и позволяет повысить точность контроля путем исключения измерения объемов изделий и камер накопления. Изделие помещают в камеру. Подают в изделие пробный газ. Накапливают утечку от негерметичности изделия в камере в течение заданного времени. Сравнивают утечку с калиброванным потоком индикаторного газа, подаваемым в туже камеру, и определяют величину негерметичности изделия с учетом соотношения чувствительностей газоанализатора по пробному и индикаторному газам. 1 ил.

Изобретение относится к контролю герметичности масс-спектрометрическим методом и позволяет повысить точность контроля путем исключения измерения объемов изделий и камер накопления. Изделие помещают в камеру. Подают в изделие пробный газ. Накапливают утечку от негерметичности изделия в камере в течение заданного времени. Сравнивают утечку с калиброванным потоком индикаторного газа, подаваемым в ту же камеру, и определяют величину негерметичности изделия с учетом соотношения чувствительностей газоанализатора по пробному и индикаторному газам. 1 ил.

Изобретение относится к контролю герметичности масс-спектрометрическим методом.

Цель изобретения - повышение точности контроля путем исключения измерения объемов изделий и камер накопления.

На чертеже приведена схема устройства для осуществления способа.

Устройство содержит соединенную с контрольной течью 1 камеру 2 с размещенным в ней испытуемым изделием 3, которое с помощью трубопровода с вентилем 4 соединено с баллоном 5 пробногр газа, отличного от индикаторного газа контрольной течи 1, масс-спектрометрический газоанализатор 6 со щупом 7 и две контрольные течи 8 и 9.

Способ определения величины негерметичности изделия осуществляют следующим образом.

Испытуемое изделие 3 помещают в камеру 2. в изделие 3 через вентили 4 из баллона 5 подают пробный газ, в качестве которого используется двукратно ионизированный гелий (изотоп гелия НеЗ). Одновременно в камеру 2 подают калиброванный поток индикаторного газа от контрольной течи 1. В качестве индикаторного газа используется гелий Не4. В течение времени выдержки, определяемого из технических требований к изделию, производят в камере 2 накопление утечки пробного газа от негерметичности изделия 3 и одновременно накопление индикаторного газа от контрольной течи 1. Для проведения замеров сначала настраивают газоанализатор б типатечеискателя ПТИ-10нэпик гелия Не4. С помощью щупа 7 определяют показания газранализатора 6 по фону гелия Не4 в помещении щ, по калиброванному потоку гелия Не4 от контрольной течи 8еГкт и по фону гелия Не4 в камере 2 от калиброванного потока контрольной течи 8. Затем перенастраивают газоанализатор 6 на пик изотопа гелия НеЗ с помощью щупа 7 определяют показания газоанализатора б по фону изотопа гелия НеЗ в помещении аф,по калиброванному потоку изотопа гелия НеЗ от

(Л

с

о

Z

00

о

контрольной течи 9 «цт и по фону изотопа гелия НеЗ в камере 2 от негерметичности изделия Оизд.

Далее определяется соотношение N чувствительностей газоанализатора б по пробному и индикаторному газам вне камеры 2:

N Sg QKT (QJT - 4)(1)

Si QKT (акт-Оф)

где SQ - чувствительность газоанализатора 6 по изотопу гелия НеЗ вне камеры 2;

Si - чувствительность газоанализатора б по гелию Не4 вне камеры 2;

QKT - величина- калиброванного потока гелия НеЗ от контрольной течи 9;

. QKT,- величина калиброванного потока гелия Не4 от контрольной течи 8.

В общем случае величина негерметичности изделия определяется по формуле

п - Ј (аизд-оф)-Ун,)

Уизд - Ъа л-,w

tH

где SQ- чувствительность газоанализатора б по изотопу гелия НеЗ для камеры 2;

VH - величина объема камеры 2;

tH - время накопления утечки.

Одновременно в камере 2 накапливается индикаторный газ от контрольной течи 1. Калиброванный поток этого газа выражается формупой

о ;т si )Ґн ,(3)

iH

где величина калиброванного потока гелия Не4 от контрольной течи 1;

Si -чувствительность газоанализатора б по гелию Не4 для камеры 2;

VH - величина объема камеры 2; Т.Н - время накопления.

Из формул (2), (3) получаем выражение

п -п1 SQ (ГД13Д - «ф),.ч

иИЗд -UKT-- Т i : W

S6 («кт-«а)

Исходя из постоянства соотношения чувствительностей по пробному и индикаторному газам для данной настройки газоанализатора 6, т.е. исходя из выражения

10

So Si

(5)

Из формул (1), (4) получаем окончательную формулу для определения величины негерметичности изделия:

п П1 Опт (оЛт 4) («изд-Оф) ,аизд-а т ы;) (6)

Формула изобретения Способ определения величины негерметичности изделия, заключающийся в том. что помещают испытуемое изделие в камеру, заполняют его пробным газом, измеряют газоанализатором в камере концентрацию пробного газа, вытекающего из изделия, подают в камеру калиброванный поток газа, измеряют концентрацию в камере и определяют негерметичность изделия путем сравнения измеренных концентраций, отличающийся тем, что. с целью повышения точности, для подачи калиброванного потока используют индикаторный газ, отличный от пробного, подачу его осуществляют одновременно с подачей в изделие пробного газа, определяют соотношение чувствительностей газоанализатора по пробному и индикаторному газам и

учитывают его при определении негерме- тичнрсти.

Q