Способ испытания на герметичность изделий Советский патент 1990 года по МПК G01M3/02 

Изобретение относится к области контроля герметичности изделий масс- спектрометрическим методом.

Цель изобретения - повышение точности путем корреляции порции пробного газа и потока пробного Газа от контрольной течи при оценке чувствительности системы испытания.

На фиг. 1 приведена схема испытания изделия способом накопления при ) атмосферном давлении; на фиг. 2 - график изменения регистрируемых параметров во времени.

Устройство для контроля герметичности содержит камеру 1 с размещенным в ней изделием 2 с теплоизоляцией 3, соединенным с трубопроводом 4 для подачи в него контрольного газа. В камере 1 размещена контрольная течь 5, соединенная с трубопроводом 6 для подачи пробного газа. Вентилятор 7 с помощью трубопроводов 8 и 9 соеди- нен с камерой 1. С трубопроводом 8

соединены анализатор 10 и баллон 11 с пробным газом.

Способ контроля герметичности изделий осуществляется следующим образом.

После включения вентилятора 7 из баллона 11 в камеру 1 подают порцию пробного газа. При этом на анализаторе 10 наблюдается резкое увеличение выходного сигнала (фиг. 2, участок 1), пропорциональное концентрации пробного газа в системе. Конец участка 1 (фиг. 2) характеризуется максимумом сигнала, который при герметичности системы должен иметь плато с ординатой Sn. В реальной системе этого не происходит из-за потерь которые выражаются в спаде сигнала на участке 2 (фиг. 2). Длительность участка 1 составляет до 1% от длительности на участке 2 (фиг. 2), поэтому потерей пробного газа на участке 1 (фиг.2) можно пренебречь. Затем по трубопроводу 6 подают пробный газ в контрольную

(Л

а

ел

СП

to о ю 1

течь 5, при этом длительность экспозиции контрольной течи 5 выбирают та- Кой, что количество газа, прошедшее |за время экспозиции через контрольную течь 5, оказывается равным ранее поданной порции пробного газа. При герметичной камере 1 без изделия в конце бремени накопления (фиг. 1, участок 3) максимальная величина сигнала от KOHT рольной течи 5 должна соответствовать максимальной величине Sn сигнала от юрции пробного газа. Ввиду того, что Камера 1 не абсолютно герметична и размещенное в ней изделие содержит флементы конструкции с сорбирующими поверхностями, этого не происходит, фактическое увеличение сигнала от контрольной течи происходит под углом jpf,, к оси абсцисс и соответствует ве-

jfawime S, сигнала меньшей максималь- Г „кт

Чои величины.

После закрытия контрольной течи 5 Происходит снижение уровня сигнала (фиг. 2, участок 4). Затем после по- Дачи по трубопроводу 4 пробного газа в изделие 2 сигнал от реальной течи зделия 2 увеличивается под углом d к1 оси абсцисс (фиг. 2, участок 5). Цоэтому при определении величины ре- алъной течи изделия вводится коэффициент коррекции, определяемый соотно- щением чувствительностей системы от порции пробного газа и потока проб- НоГо газа от контрольной течи и характеризующий потерю пробного газа в камере 1.

Предлагаемое техническое решение позволяет повысить точность определения негерметичности на 30-50%.

Формула изобретения

Способ испытания на герметичность изделий, заключающийся в том, что помещают испытуемое изделие в камеру, подают в нее калиброванный поток пробного газа, измеряют концентрацию пробного газа в камере, определяют по ней чувствительность системы контроля, заполняют изделие пробным газом, измеряют концентрацию пробного газа в камере и по ней с учетом чувствительности системы контроля определяют негерметичность изделия, отличающийся тем, что, с целью повышения точности, в отсутствие калибровочного потока пробного газа подают порцию пробнрго газа в камеру, измеряют в ней максимальную концентрацию пробного газа, определяют по ней чувствительности системы контроля, в качестве измеряемой концентрации при подаче калиброванного потока также используют максимальное значение и при определении негерметичности учитывают соотношение чувствительностей от калиброванного потока и порции пробного газа.

Изобретение касается контроля герметичности изделий масс-спектрометрическим методом и позволяет повысить точность путем корреляции чувствительности системы при контроле изделий сложной конфигурации. Измеряют максимальную концентрацию пробного газа в вакуумной камере с изделием при поочередной подаче в нее порции пробного газа и потока его контрольной течи. По измеренным значениям определяют значения чувствительности S_п и S_кт и величину измеренной суммарной утечки из изделия корректируют на коэффициент K = S_п/S_кт. 2 ил.

/

1X1-

1X177 /-.

12

в

ю

Фие.1

б

Фи,е.2