Способ изготовления кварцевых резонаторов Советский патент 1991 года по МПК H03H3/02 

Изобретение относится к электронной технике, в частности к производству кварцевых резонаторов.

Целью изобретения является повышение выхода годных за счет снижения дисперсии температурно-частотных характеристик резонаторов.

Способ осуществляют следующим образом.

Изготавливают диэлектрическую подложку с гнездами для пьезоэлементов и держатели. Закрепляют держатели пьезоэлементов на подложке путем двустороннего нанесения фоторезиста на заготовку держателей, двустороннего экспонирования и проявления фоторезиста, травления заготовки и удаления фоторезиста и устанавливают пье- зоэнементы на держатели.

П р и м е р. На пластину из никелевой фольги (НТ-2-Т-Н-0.05) толщиной 0,05 мм по защитной маске из фоторезиста Ф25, полученной методом двусторонней фотолитографии, электрохимическим наращиванием наносили слой золота толщиной 8-10 мкм на места будущих держателей на обе стороны пластины. Керамическую подложку со сформированными гнездами под пьезоэ- лементы методом сверления (или пробивки) совмещали с пластиной из никелевой фольги с помощью базовых штифтов на основании и соединяли с помощью клея. После склеивания основание удаляли и производили сквозное травление незащищенных участков фольги в водном растворе перекиси водорода, содержащем соляную кислоту. На изготовленные держатели с помощью токопроводящего клея монтировали пьезо- элементы.

Формула изобретения Способ изготовления кварцевых резонаторов, включающий изготовление диэлектрической подложки с гнездами для пьезоэлементов, изготовление держателей для пьезоэлементов из металлической

О

2

CJ Јь 1

заготовки, закрепление держателей пьезоэ-держателей пьезоэлементов на подложке

лементов на подложке и установку пьезоэ- ,осуществляют двустороннее нанесение

лементов на держатели, отличающий-фоторезиста на заготовку держателей,

с. я тем, что, с целью повышения выходадвустороннее экспонирование и проявлегодных за с чет снижения дисперсии тем- 5ние фоторезиста, закрепление заготовки на

пературно-частотных характеристик резо-подложке, травление заготовки и удаление

наторов, для изготовления и закрепленияфоторезиста.

Изобретение относится к электронной технике, в частности к производству кварцевых резонаторов. Целью изобретения является повышение производительности за счет уменьшения объемов функциональной подгонки путем снижения дисперсии температурно-частотных характеристик резонаторов. Цель достигается тем, что изготовление держателей осуществляют методом двухсторонней фотолитографии с последующим травлением незащищенных участков материала держателя, причем нанесение фоторезиста, его экспонирование и проявление проводят до закрепления материала держателей на подложке, а травление незащищенных участков материала держателя - после закрепления.