Способ юстировки фотоэлектрического преобразователя перемещений Советский патент 1991 года по МПК G01B21/00 

фиг 1

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для юстировки фотоэлектрических преобразователей с симметрично повернутыми относительно направления перемещения индикаторными решетками,

Цель изобретения - повышение точности юстировки за счет повышения симметричности расположения индикаторных решеток.

На фиг.1 представлена функциональная схема устройства, реализующего способ; на фиг.2 - расположение индикаторных решеток на неподвижном элементе; на фиг.З - график зависимости электрических сигналов, снимаемых с фотоприемников от угла поворота индикаторных решеток.

Устройство, реализующее способ, содержит оптически связанные источник 1 света, конденсорную линзу 2, подвижный элемент 3 с нанесенной перпендикулярно направлению перемещения измерительной решеткой 4, неподвижный элемент 5 с нанесенными с одинаковыми пространственными фазами и симметрично повернутыми относительно направления перемещения подвижного элемента 3 индикаторными решетками 6-9, причем индикаторные решетки 8 и 9 смещены относительно индикаторных решеток 6 и 7 на П/2, линзы 10-13, фотоприемники 14 и 15, оптически связанные с индикаторными решетками 6 и 7, фотоприемники 16 и 17, оптически связанные с индикаторными решетками 8 и 9, блоки 18 и 19 нахождения разностного сигнала, входы которых подключены соответст-, венно к фотоприемникам 14, 15 и 16, 17, блок 20 обработки сигнала, входы которого подключены к выходам блоков 18 и 19 нахождения разностного сигнала.

Способ реализуется следующим образом.,

Источник 1 света и конденсорная линза 2 формируют параллельный пучок лучей, проходящий через измерительную решетку 4, нанесенную на подвижный элемент 3, индикаторные решетки 6-9 и линзы 10-13.

На выходе фотоприемников - формируются электрические сигналы, амплитуды которых связаны с положением подвижного элемента 3.

Перемещают подвижный элемент 3 до

положения, при котором на выходе фотоприемников 14, 15 или 16, 17 формируются максимальные сигналы.

В найденном положении подвижного

элемента 3 проводят разворот индикаторных решеток 6,7 или 8, 9 до положения, при котором электрические сигналы, снимаемые с фотоприемников 14, 15 или 16, 17, принимают равные по амплитуде значения

или их разность принимает минимальное значение. Минимальные значения разностного сигнала, снимаемые с блоков 18 или 19 нахождения разностного сигнала, фиксируются блоком 20 обработки сигнала.

Использование способа позволяет повысить точность юстировка за счет повышения симметричности расположения индикаторных решеток.

Формулаизобретения

Способ юстировки фотоэлектрического преобразователя перемещений, заключающийся а том, что преобразуют поток излучения, прошедший через измерительную

решетку фотоэлектрического преобразователя, нанесенную на подвижный элемент перпендикулярно направлению перемещения и две индикаторные решетки, нанесен- ные на неподвижный элемент с

одинаковыми пространственными фазами и симметрично повернутые относительно направления перемещения подвижного элемента, в два электрических сигнала, о т л и- чгющийся тем, что, с целью повышения

точности юстировки, перемещают измерительную решетку до положения, при котором формируются максимальные электрические сигналы, разворачивают индикаторные решетки до положения, при котором электрические сигналы принимают равные по амплитуде значения или их разность принимает минимальное значение.

Изобретение относится к измерительной технике. Цель изобретения - повышение точности юстировки за счет повышения симметричности расположения индикаторных решеток. Источник 1 света и конден- сорная линия 2 формируют параллельный пучок лучей, проходящий через измерительную решетку 4,индикаторные решетки 6, 7, 8, 9, линзы 10, 11, 12, 13 и подают его на фотоприемники 14, 15, 16, 17. Перемещают измерительную решетку 4 до положения, при котором формируются максимальные электрические сигналы на выходах фотоприемников 14, 15 или 16, 17. Разворачивают индикаторные решетки 6, 7 или 8. 9 до положения, при котором электрические сигналы, снимаемые с фотоприемников 14, 15 или 16,17, принимают равные по амплитуде значения или их разность, снимаемая с выходов блоков 18 или 19 нахождения разностного сигнала, принимает минимальное значение. 3 ил. (Л С о ч СЛ ю СА)

(pus.Z

v

mz