Фиг 2
название | год | авторы | номер документа |
---|---|---|---|
Датчик давления | 1989 |
|
SU1744530A1 |
Датчик давления | 1990 |
|
SU1784847A1 |
Датчик давления | 1989 |
|
SU1675702A1 |
ДАТЧИК ДАВЛЕНИЯ НА ОСНОВЕ ТЕНЗОРЕЗИСТОРНОЙ ТОНКОПЛЕНОЧНОЙ НАНО- И МИКРОЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКОЙ СИСТЕМЫ | 2009 |
|
RU2397460C1 |
ТЕНЗОРЕЗИСТОРНЫЙ ДАТЧИК ДАВЛЕНИЯ НА ОСНОВЕ ТОНКОПЛЕНОЧНОЙ НАНО- И МИКРОЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКОЙ СИСТЕМЫ | 2009 |
|
RU2391640C1 |
Датчик давления | 1989 |
|
SU1712802A1 |
Датчик давления | 1988 |
|
SU1615578A1 |
ДАТЧИК ДАВЛЕНИЯ ТЕНЗОРЕЗИСТИВНОГО ТИПА С ТОНКОПЛЕНОЧНОЙ НАНО- И МИКРОЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКОЙ СИСТЕМОЙ | 2011 |
|
RU2472125C1 |
СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ НАНО- И МИКРОЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКОЙ СИСТЕМЫ ДАТЧИКА ДАВЛЕНИЯ И ДАТЧИК ДАВЛЕНИЯ НА ЕГО ОСНОВЕ | 2009 |
|
RU2398195C1 |
ТОНКОПЛЕНОЧНЫЙ ДАТЧИК ДАВЛЕНИЯ | 2006 |
|
RU2312319C2 |
Изобретение относится к измерительной технике, в частности к датчикам, предназначенным для использования в различных областях науки и техники, связанных с измерением давления в условиях воздействия нестационарной температуры измеряемой среды (термоударе). Целью изобретения является повышение точности измерения при воздействии нестационарной температуры, повышение чувствительности и технологичности. Цель достигается тем, что в датчике давления, содержащем квадратную мембрану 1, выполненную за одно целое с опорным основанием 2, плоскость которой расположена в плоскости изотропии теплофизических свойств мембраны, измерительный мост, каждое плечо которого образовано последовательным соединением низкоомными перемычками тензо- элементов, расположенных по периферии мембраны, причем тензоэлементы двух противоположных плеч параллельны двум другим сторонам мембраны, и длины тензо- элементов одинаковы.Так как тензоэлементы выполнены в виде идентичных квадратов, расположенных симметрично относительно взаимно перпендикулярных осей, проходящих через середины сторон мембраны, а размеры сторон каждого квадрата определены по представленному соотношению, то при воздействии температур паразитные сигналы, появляющиеся у тензо- элементов, включенных в смежные плечи моста, будут одинаковы и взаимно компенсироваться. 2 ил. Ё
ИНТЕГРАЛЬНЫЙ ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЬ ДАВЛЕНИЯ | 1987 |
|
SU1433172A1 |
Печь для непрерывного получения сернистого натрия | 1921 |
|
SU1A1 |
Авторы
Даты
1991-10-07—Публикация
1989-06-06—Подача