Датчик давления Советский патент 1991 года по МПК G01L9/04 

UM

Изобретение относится к измерительной технике, в частности к датчикам, пред- назначенным для использования в различных областях науки и техники, связанных с измерением давления в условиях воздействия нестационарной температуры измеряемой среды. Цель изобретения - повышение точности при воздействии нестационарной температуры измеряемой среды, повышение чувствительности и эксплуатационных возможностей за счет учета неравномерности температур и возникающих термодеформаций в зоне установки тензорезисторов, расположенных на различных расстояниях от центра мембраны, расположения тензоэлементов в зонах максимального изменения деформаций и суммирования изменений выходных сигналов измерительных мостов, а также за счет возможности получения с одного датчика информации о давлении и распределении температур на мембране. В датчик давления, содержащий мембрану с утолщенным периферийным участком и с жестким центром и измерительный мост, каждое плечо которого образовано последовательным соединением низкоомными перемычками 5 равномерно расположенных на поверхности мембраны по радиальным направлениям тензоэлементов 6 одноименного изменения от измеряемого давления, введен дополнительный измерительный мост, каждое плечо которого образовано последовательным соединением низкоомными перемычками 8 равномерно расположенных на поверхности мембраны по тангенциальным направлениям тензоэлементов 9 одноименного изменения от измеряемого давления. Причем тензоэлементы обоих мостов выполнены в виде идентичных квадратов, две противолежащие стороны которых расположены параллельно радиусам мембраны, проведенным через центры соответствующих квадратов, и тензоэлементы одноименного изменения размещены на одинаковом расстоянии от центра мембраны, а размеры сторон каждого квадрата определены по представленному в описании соотношению. 3 ил. U) С

Фиг.З