Источник вакуумного ультрафиолетового излучения Советский патент 1991 года по МПК G01J3/10 

Изобретение относится к газоструйным сточникам излучения предназначено для роведения научно-исследовательских раот в вакуумной ультрафиолетовой и ультраягкой рентгеновской области спектра.

Цель изобретения - увеличение времеи непрерывной работы источника, повышение эффективности возбуждения в абочей камере при работе со смесями, соержащими неконденсируемые добавки.

На чертеже приведена схема источника.

Он состоит из вакуумной камеры 1, сопла Лаваля 2, электронной пушки 3, криогенного насоса 4, низковакуумной камеры 5, конического патрубка 6, укрепленного с помощью теплопроводных держателей 7 (показан только один из них) на корпусе сопла и герметично соединенного сильфо- ном 8 с внутренней поверхностью конденсационного насоса.

Устройство работает следующим образом.

Рабочий газ через сверхзвуковое сопло 2 вытекает в виде ограниченной в пространстве направленной сверхзвуковой струи в вакуумную камеру 1 источника и проходит через патрубок 6 в низковакуумную камеру 5. При этом часть газа вымораживается на поверхности криогенного насоса, часть откачивается вспомогательными откачными средствами, присоединенными к камере 5. Электронная пушка создает электронный пучок, пересекающий сверхзвуковую струю в зазоре между соплом и патрубком. Возбужденный электронами газ излучает, и Это излучение распространяется в вакууме без поглощения. Окно для выхода излучения (не показано) расположено в плоскости, перпендикулярной плоскости рисунка.

Входное отверстие патрубка должно быть не меньше сечения струи на его уровне для свободного прохождения струи внутрь патрубка. Угол конуса патрубка должен быть не больше угла расходимости струи, чтобы молекулы, образующие струю при своем движении, сталкивались со стенкой

патрубка и создавали систему ударных волн, полностью перекрывающих входное сечение и препятствующих противотоку молекул из камеры 5 с более высоким давлением в камеру 1 с низким давлением. Теплопроводящие держатели 7, с помощью которых конический патрубок крепится к корпусу сопла, поддерживают его температуру такой, что на стенках патрубка рабочий

газ не конденсируется. В то же время держатели позволяют сохранить соосность патрубка и струи при перемещениях сопла. Герметичное соединение широкого основания конуса патрубка со стенками криогенного насоса предотвращает попадание рабочего газа в высоковакуумнуюкамеру1из 1 камеры 5. Сильфон 8 в этом соединении играет двоякую роль; он обеспечивает гибкость соединения, позволяя перемещать конический патруб.ок относительно насоса, и в то же время служит тепловой развязкой между ними.

Формула изобретения Источник вакуумного ультрафиолетового излучения, включающий электронную пушку, криогенный насос, вакуумную камеру с соплом Лаваля и низковакуумную камеру, соединенную с вакуумной камерой отверстием в криогенном насосе, располо

женным соосно с соплом, отличающий- с я тем, что, с целью увеличения времени непрерывной работы источника и повышения эффективности возбуждения в рабочей камере при работе со смесями, содержащ ми неконденсируемые добавки, он дополнительно содержит патрубок в виде усечен ного конуса с углом конусности, равным углу конусности сопла, закрепленный теплопро- водящими держателями на корпусе сопла

соосно с ним так, что меньшее оснований усеченного конуса патрубка обращено к соплу и имеет диаметр, равный сумме диаметра выходного сечения сопла и удвоенного расстояния от патрубка до сопла, я большее

основание через сильфон герметично соединено с внутренними стенками конденсационного насоса.