ИСТОЧНИК ВАКУУМНОГО УЛЬТРАФИОЛЕТОВОГО ИЗЛУЧЕНИЯе";-д Советский патент 1974 года по МПК G01J3/10 

Р1зобретеппе относится к источникам излучения Б области вакуумного ультрафиолета. Известны газоструйные источники вакуумного ультрафиолетового излучения иериодического действия, в которых рабочий газ струи откачивается криогенным насосом, расположенным на пути струп. Предлагаемое устройство позволяет увеличить срок непрерывной работы и снизить расход хладагента. Достигается это тем, что устройство содержит вторую камеру с обычными откачными средствами, сседпнсппую с первой отверстием в криогенном насосе, расположеп11ым соосно с соплом. На чертеже представлена схема оппсыБаемого прибора. Он состоит из вакуумной камеры /, сопла Лаваля 2, электронной пушки 3, криогенного насоса 4, вакуумной камеры 5, мановакуумметра 6 и вентиля 7. Прибор работает следующим образом. Вакуумные камеры У и 5 откачиваются насосами. Криогенный насос 4 охлаждает до температуры, при которой рабочий газ струи конденсируется и имеет достаточно низкую упругость паров. Вентиль 7 подает рабочий газ в сопло Лаваля. Режим истечения контролирустся мановакуумметром 6. Включается электронная пушка 3 п электронным пучком возбуждает струю. С помощью криогенного насоса вакуум в камере / поддерживается достаточно высоким. Центральная область струи проходит через отверстие в криогенном насосе п попадает в камеру 5, давление в которой благодаря способности сверхзвуковой струи газа выдерж 1вать определенное противодавление повышается по сравнению с давлением в первой камере на несколько порядков и поддерживается обычпым откачным устройством. Излучение источника выводится через отверстие в камере /, расположенное перпенд Пхулярно оси электронного пучка. Предмет изобретения Источник вакуумного ультрафиолетового излучения, включаюищй вакуумную камеру с соплом Лаваля, электронную пушку и криогенный насос, отличающийся тем, что, с целью увеличения срока непрерывной работы и снижения расхода -хладагента, он содержит вторую камеру с откачными средствами, соединенную с первой отверстием в криогенном насосе, расположенным соосно с соплом.