ВАКУУМНАЯ КАМЕРА ДЛЯ ИССЛЕДОВАНИЯ СВОЙСТВ Советский патент 1970 года по МПК G01N21/00 H01J47/02 

Изобретение относится к вакуумным камерам для исследования свойств материалов при воздействии на них ультрафиолетового излучения.

Известны вакуумные камеры аналогичного назначения с криогенной откачкой. Однако пр.и использовании этих камер для исследования свойств материалов, облучаемых 1вакуумным ультрафиолетовым излучением, трудно вводить в камеру излучения с длинами волн ниже 1200-1100°А. Нет таких материалов, которые пропускали бы излучение с длинами волн лиже 1100°А.

Существующие источники вакуумного ультрафиолетового излучения с диапазонами длин волн от 1200°А и ,ннже (безоконные газоразрядные лампы) работают пр,и сравнительно высоких давлениях. При вводе излучения из этих источников в вакуумные камеры, имеющие рабочее давление ммрт.ст. и ниже, необходимо использовать сложную систему дифференциальной откачки, которая снижает интенсивность излучения, вводимого в камеру, и ограничивает площадь облучения исследуемого объекта.

Целью настоящего изобретения является расположение исследуемого объекта на максимально близком расстоянин от источника излучения с сохранением в камере высокого вакуума.

Для этого источник ультрафиолетового излучения введен внутрь вакуумной камеры и состоит из сопла Лаваля, через которое подается газ внутрь камеры, электронной пушки, возбуждающей ультрафиолетовое свечение струн газа, н охлаждаемого конденсатора.

На фиг. 1 схематично изображена предлагаемая вакуумная камера; «а фиг. 2 - разрез по А-А на фиг. 1.

Газ НЛП смесь газов по трубке 1 через сопло Лаваля 2 поступает в камеру 3, возбуждается электронным пучком, выходящим из электронной пушки 4, и конденсируется на конденсаторе 5, который охлаждается до температуры, ниже температуры конденсации газа или смесн газов. Вентиль 6 служит для регулировки подачи газа в сопло Лаваля. Исследуемые объекты 7 располагают на маннпуляторах 8 вблизи струи газа.

При охлаждении конденсатора до температуры 20°К и ниже конденсатор служит одновременно крногенным насосом :Камеры. Патрубок 9 предназначен для подключения вакуумных насосов.

Предмет изобретения

источник излучения и установленные внутри камеры держатели для образцов исследуемых материалов, отличающаяся тем, что, с целью максимального приближения источника ультраф.иолетового излучения к облучаемым объектам, источник излучения внесен внутрь камеры и состоит из сонла Лаваля, подающего газ в камеру, электронной пушки, возбуждающей ультрафиолетовое свечение струи газа, и охлаждаемого конденсатора.

А L- .

А-А

риг. /

иг.2