ТУРБОМОЛЕКУЛЯРНЫЙ ВЫСОКОВАКУУМНЬШ КАСОС Советский патент 1965 года по МПК F04D19/04 

Известны турбомолекулярные высоковакуумные насосы с двухпоточным ротором и электроприводом, встроенным в форвакуумную камеру и установленным на валу насоса.

В предложенном насосе электропривод состоит из двух помещенных на консолях вала электродвигателей равной мощности и повышенной частоты, которые включаются в параллельную работу в период разгона ротора до полных оборотов в заданный промежуток времени с последующпм отключением одного из них в рабочем режиме. Такое выполнение насоса иовышает надежность, увеличивает к.п.д. и коэффициент мощности.

Для увеличения прочности изоляцпи и уменьшения газоотделения обмотка и железо статоров электродвигателей залиты эпоксидной смолой с наполнителем, обладающим низкой упругостью иаров.

Для уменьшения вибрации корпуса насоса и повышения надежности подшипниковых опор последние установлены на металлических упругих кольцевых обоймах.

На чертеже изображен предложенный насос в продольном разрезе.

Насос содержит цилиндрический корпус / с всасывающим патрубком 2 и выпускными.. Ротор двухпоточного тииа состоит из установленных на валу 4 дисков 5, между которыми расположены статорные диски 6. Роторные и статорные диски имеют косые прорези, обеспечивающие при вращенни ротора механическое перемещение молекул газа от центрального всасывающего патрубка к периферийным выпускным патрубкам, к которым подсоединяется форвакуумны; насос.

На консолях вала помещены асинхронные трехфазные электродвигатели 7 равной мощности и повышенной частоты. Каждый из них

встроен в камеру 8, в которой создается форвакуум. В период пуска оба электродвигателя включаются в параллельную работу для разгона ротора до полных оборотов в заданный промежуток времени. В рабочем режиме

работа турбомолекулярного насоса обеспечивается только одним из электродвигателей, что повышает электрический к.п.д. и коэффициент мощности. Для уменьшения газоотделения обмотка и железо статоров электродвигателей залиты эпоксидной смолой 9 с наполнителем, обладающим низкой упругостьго иаров.

Подшипниковые опоры 10 для повышения надежности установлены на металлических

упругих кольцевых обоймах //, что также снижает вибрацию кориуса насоса.

водом, встроенным в форвакуумную камеру, отличающийся тем, что, с целью повышения надежности, к.п.д. и коэффициента мощности, электропривод состоит из двух помещенных на консолях вала электродвигателей равной мощности, имеющих повышенную частоту и включаемых в параллельную работу для разгона ротора до полных оборотов в заданный промежуток времени с последующим отключением одного из иих в рабочем режиме.

2.Насос по п. 1, отличающийся тем, что, с целью увеличения прочности изоляции и уменьшения газоотделения, обмотка и железо статоров электродвигателей залиты эпоксидной смолой с наполнителем, обладающим низкой упругостью паров.

3.Насос по п. 1, отличающийся тем, что, с целью снижения вибрации и повыщения надежности подщипниковых опор, последние установлены на металлических уцругих кольцевых обоймах.