Двухступенчатый турбомолекулярный вакуумный насос Советский патент 1992 года по МПК F04D19/04 

Изобретение относится к вакуумной технике и позволяет улучшить откэчные характеристики турбомолекулярного насоса. На внутренней поверхности корпуса 1 с входным патрубком 2 расположены статор- ные диски 3 турбомолекулярной ступени, а также статор (С) 4 молекулярной ступени. По оси корпуса 1 установлен ротор (Р) 6 с роторными лопатками (Л) 9. Торцовые поверхности 11 и 12 С4 и Р 6 на входе в молекулярную ступень выполнены коническими с образованием входного канала, сужающегося в сторону нагнетания, причем торцовая коническая поверхность 11 С 4 выполнена сужающейся в сторону всасывания. Внешний диаметр молекулярного участка Рб превышает внешний диаметр Л 9 роторных дисков. 1 з. п. ф-лы, 1 ил.