(Л
с
торая передается стержневому упругому элементу 3. Стержневой упругий элемент 3 испытывает деформацию, вместе с ним и тензорезйсторы 5-8 (тензорезисторв 5, 8 положительную деформацию, а тензорезйсторы 6, 7 - отрицательную).
Вследствие этого на выходе мостовой измерительной цепи появляется сигнал, пропорциональный измеряемому давлению. При работе датчика в условиях действия стационарных температур измеряемой среды по длине стержневого упругого элемента возникает градиент температуры. Причем, как известно, если в условиях действия стационарных температур характер распределения температуры по длине практически линейный, то в условиях действия нестационарных температур характер распределения нелинейный. В любом случае изменение сопротивлений тензорезисторов 5 и 8 в момент температурного воздействия одинаковы, а их концы расположены на одинаковом расстоянии от мембраны.
В мостовой измерительной цепи датчика изменения сопротивлений тейзорезисторов 5 и 8 складываются, так как они включены в противоположные плечи.
Для того, чтобы на выходе мостовой измерительной цепи не появлялся ложный сигнал (не возникала температурная погрешность), суммы изменений сопротивлений от температуры противоположных плеч моста должны быть равны. Это достигается благодаря установке тензорезисторов 6 и 7 под углом а arccos a/2b к тензорезисторам 5 и 8. При этом первые половинки тензорезисторов 5 и 8 имеют одинаковые
температурные условия с тензорезистором б, а вторые половинки тензорезисторов 5 и 8 - одинаковые температурные условия с тензорезистором 7.
При этом эффект достигается при любом характере распределения температуры по длине стержневого упругого элемента.
Изобретение позволяет повысить точность, упростить конструкцию и повысить
0 технологичность.
Формула изобретения Датчик давления, содержащий корпус, в котором выполнена за одно целое с ним
мембрана, контактирующая со стержневым упругим элементом, на плоской грани которого закреплены соединенные в измерительный мост тензорезйсторы, два из которых расположены по краям грани вдоль
оси стержневого упругого элемента, а два других, включенных в противоположные плечи моста, - в центральной части грани, отличающийся тем, что, с целью повышения точности в условиях действия
термоудара и пбвышения технологичности, в нем первый тензорезистор, расположенный в центральной части .грани, ориентирован под углом от конца первого тензорезистора, расположенного по краю
грани к середине второго тензорезистора, расположенного по другому краю грани, а йторой тензорезистор центральной части ориентирован параллельно первому тензорезистору от середины первого тензорезистора, расположенного по краю грани, к концу второго тензорезистора, расположенного по другому краю грани.
название | год | авторы | номер документа |
---|---|---|---|
Устройство для измерения давления | 1987 |
|
SU1490515A1 |
Датчик давления | 1987 |
|
SU1707489A1 |
Устройство для измерения давления | 1987 |
|
SU1515081A1 |
Устройство для измерения давления | 1986 |
|
SU1364924A1 |
ТЕРМОУСТОЙЧИВЫЙ ТОНКОПЛЕНОЧНЫЙ ТЕНЗОРЕЗИСТОРНЫЙ ДАТЧИК ДАВЛЕНИЯ | 2008 |
|
RU2375689C1 |
Датчик давления | 1987 |
|
SU1627870A1 |
ДАТЧИК ДАВЛЕНИЯ НА ОСНОВЕ ТЕНЗОРЕЗИСТОРНОЙ ТОНКОПЛЕНОЧНОЙ НАНО- И МИКРОЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКОЙ СИСТЕМЫ | 2009 |
|
RU2397460C1 |
ДАТЧИК ДАВЛЕНИЯ НА ОСНОВЕ НАНО- И МИКРОЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКОЙ СИСТЕМЫ ПОВЫШЕННОЙ ТОЧНОСТИ И НАДЕЖНОСТИ | 2012 |
|
RU2480723C1 |
ТЕНЗОРЕЗИСТОРНЫЙ ДАТЧИК ДАВЛЕНИЯ НА ОСНОВЕ ТОНКОПЛЕНОЧНОЙ НАНО- И МИКРОЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКОЙ СИСТЕМЫ | 2009 |
|
RU2391640C1 |
СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ НАНО- И МИКРОЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКОЙ СИСТЕМЫ ДАТЧИКА ДАВЛЕНИЯ И ДАТЧИК ДАВЛЕНИЯ НА ЕГО ОСНОВЕ | 2009 |
|
RU2398195C1 |
Изобретение может быть использовано для измерения давления с повышенной точностью в условиях действия нестационарных температур. Датчик давления содержит корпус, мембрану, соединенную со стерж-2 '^невым упругим элементом 3, на котором установлены продольные тензорезисторы 5 и 8 по краям плоской грани 4 и тензорезисторы 6 и 7, размещенные в центре плоской грани. Тензорезисторы 6 и 7 установлены под углом и размещены так, что один их конец совмещен с центром продольныхтен- зорезисторов, а другой - с концом продольных тензорезисторов. В зТом случае тензорезисторы^ воспринимающие деформацию разного знака, находятся в условиях, когда градиент температуры по длине упругого элемента не приводит к разбалансу мостовой измерительной цепи. 2 ил.
Датчик давления | 1987 |
|
SU1627870A1 |
кл | |||
Печь для непрерывного получения сернистого натрия | 1921 |
|
SU1A1 |
Авторы
Даты
1992-02-23—Публикация
1987-11-02—Подача