Датчик давления Советский патент 1992 года по МПК G01L9/04 

Описание патента на изобретение SU1714395A1

с

торая передается стержневому упругому элементу 3. Стержневой упругий элемент 3 испытывает деформацию, вместе с ним и тензорезйсторы 5-8 (тензорезисторв 5, 8 положительную деформацию, а тензорезйсторы 6, 7 - отрицательную).

Вследствие этого на выходе мостовой измерительной цепи появляется сигнал, пропорциональный измеряемому давлению. При работе датчика в условиях действия стационарных температур измеряемой среды по длине стержневого упругого элемента возникает градиент температуры. Причем, как известно, если в условиях действия стационарных температур характер распределения температуры по длине практически линейный, то в условиях действия нестационарных температур характер распределения нелинейный. В любом случае изменение сопротивлений тензорезисторов 5 и 8 в момент температурного воздействия одинаковы, а их концы расположены на одинаковом расстоянии от мембраны.

В мостовой измерительной цепи датчика изменения сопротивлений тейзорезисторов 5 и 8 складываются, так как они включены в противоположные плечи.

Для того, чтобы на выходе мостовой измерительной цепи не появлялся ложный сигнал (не возникала температурная погрешность), суммы изменений сопротивлений от температуры противоположных плеч моста должны быть равны. Это достигается благодаря установке тензорезисторов 6 и 7 под углом а arccos a/2b к тензорезисторам 5 и 8. При этом первые половинки тензорезисторов 5 и 8 имеют одинаковые

температурные условия с тензорезистором б, а вторые половинки тензорезисторов 5 и 8 - одинаковые температурные условия с тензорезистором 7.

При этом эффект достигается при любом характере распределения температуры по длине стержневого упругого элемента.

Изобретение позволяет повысить точность, упростить конструкцию и повысить

0 технологичность.

Формула изобретения Датчик давления, содержащий корпус, в котором выполнена за одно целое с ним

мембрана, контактирующая со стержневым упругим элементом, на плоской грани которого закреплены соединенные в измерительный мост тензорезйсторы, два из которых расположены по краям грани вдоль

оси стержневого упругого элемента, а два других, включенных в противоположные плечи моста, - в центральной части грани, отличающийся тем, что, с целью повышения точности в условиях действия

термоудара и пбвышения технологичности, в нем первый тензорезистор, расположенный в центральной части .грани, ориентирован под углом от конца первого тензорезистора, расположенного по краю

грани к середине второго тензорезистора, расположенного по другому краю грани, а йторой тензорезистор центральной части ориентирован параллельно первому тензорезистору от середины первого тензорезистора, расположенного по краю грани, к концу второго тензорезистора, расположенного по другому краю грани.

Похожие патенты SU1714395A1

название год авторы номер документа
Устройство для измерения давления 1987
  • Васильев Валерий Анатольевич
  • Тихонов Анатолий Иванович
SU1490515A1
Датчик давления 1987
  • Васильев Валерий Анатольевич
  • Тихонов Анатолий Иванович
  • Софийский Андрей Альбертович
  • Миляев Андрей Иванович
SU1707489A1
Устройство для измерения давления 1987
  • Васильев Валерий Анатольевич
  • Осадчий Евгений Петрович
  • Тихонов Анатолий Иванович
SU1515081A1
Устройство для измерения давления 1986
  • Васильев Валерий Анатольевич
SU1364924A1
ТЕРМОУСТОЙЧИВЫЙ ТОНКОПЛЕНОЧНЫЙ ТЕНЗОРЕЗИСТОРНЫЙ ДАТЧИК ДАВЛЕНИЯ 2008
  • Белозубов Евгений Михайлович
  • Васильев Валерий Анатольевич
  • Громков Николай Валентинович
  • Рыжова Татьяна Николаевна
RU2375689C1
Датчик давления 1987
  • Васильев Валерий Анатольевич
SU1627870A1
ДАТЧИК ДАВЛЕНИЯ НА ОСНОВЕ ТЕНЗОРЕЗИСТОРНОЙ ТОНКОПЛЕНОЧНОЙ НАНО- И МИКРОЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКОЙ СИСТЕМЫ 2009
  • Белозубов Евгений Михайлович
  • Васильев Валерий Анатольевич
  • Васильева Светлана Александровна
  • Громков Николай Валентинович
RU2397460C1
ДАТЧИК ДАВЛЕНИЯ НА ОСНОВЕ НАНО- И МИКРОЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКОЙ СИСТЕМЫ ПОВЫШЕННОЙ ТОЧНОСТИ И НАДЕЖНОСТИ 2012
  • Васильев Валерий Анатольевич
  • Хованов Дмитрий Михайлович
RU2480723C1
ТЕНЗОРЕЗИСТОРНЫЙ ДАТЧИК ДАВЛЕНИЯ НА ОСНОВЕ ТОНКОПЛЕНОЧНОЙ НАНО- И МИКРОЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКОЙ СИСТЕМЫ 2009
  • Белозубов Евгений Михайлович
  • Васильев Валерий Анатольевич
  • Васильева Светлана Александровна
  • Громков Николай Валентинович
  • Тихонов Анатолий Иванович
RU2391640C1
СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ НАНО- И МИКРОЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКОЙ СИСТЕМЫ ДАТЧИКА ДАВЛЕНИЯ И ДАТЧИК ДАВЛЕНИЯ НА ЕГО ОСНОВЕ 2009
  • Белозубов Евгений Михайлович
  • Васильев Валерий Анатольевич
  • Чернов Павел Сергеевич
RU2398195C1

Иллюстрации к изобретению SU 1 714 395 A1

Реферат патента 1992 года Датчик давления

Изобретение может быть использовано для измерения давления с повышенной точностью в условиях действия нестационарных температур. Датчик давления содержит корпус, мембрану, соединенную со стерж-2 '^невым упругим элементом 3, на котором установлены продольные тензорезисторы 5 и 8 по краям плоской грани 4 и тензорезисторы 6 и 7, размещенные в центре плоской грани. Тензорезисторы 6 и 7 установлены под углом и размещены так, что один их конец совмещен с центром продольныхтен- зорезисторов, а другой - с концом продольных тензорезисторов. В зТом случае тензорезисторы^ воспринимающие деформацию разного знака, находятся в условиях, когда градиент температуры по длине упругого элемента не приводит к разбалансу мостовой измерительной цепи. 2 ил.

Формула изобретения SU 1 714 395 A1

Документы, цитированные в отчете о поиске Патент 1992 года SU1714395A1

Датчик давления 1987
  • Васильев Валерий Анатольевич
SU1627870A1
кл
Печь для непрерывного получения сернистого натрия 1921
  • Настюков А.М.
  • Настюков К.И.
SU1A1

SU 1 714 395 A1

Авторы

Васильев Валерий Анатольевич

Даты

1992-02-23Публикация

1987-11-02Подача