Микродозатор Советский патент 1992 года по МПК G01F11/00 

. Изобретение относится к дозирующим устройствам и может быть использовано для производства полупроводниковых приборов и устройства РЭА, Известно устройство для нанесения жидкости на изделия, содержащее корпус цилиндра с соплом и средством подачи рабочей среды, расположенные в нем поршень и эластичную диафрагму. Недостатками устройства являются: низкая производительность, обуслов- ленная малой скоростью истечения дозируемой жидкости из сопла и большой

инерционностью дозирующей системы; невысокое качество нанесения жидкости на изделие ввиду небольшого скоростного напора истечения дозируемой жидкости и, следовательно, плохой адгезии жидкости к рабочей поверхности изделия; невысокая точность дозирования жидкости ввиду большой разности конструктивных параметров поршня, объема цилиндра и сопла.

Наиболее близким по технической сущности к предлагаемому является микродозатор жидкости, содержащий

CD CD О 00

корпус с каналом и поршень, надетый на дозирующий элемент с осевым капиллярным каналом} камеру для жидкости, канал всасывания.

Недостатками известной конструкции дозатора являются: низкая производительность в результате малой скорости истечения жидкости из камеры; низкое качество нанесения рабочей жидкости на обрабатываемую поверхность изделия ввиду малой кинетической энергии выброса рабочей жидкости из иглы, что не обеспечивает качественной адгезии с поверхностью изделия; не обеспечивается стабильность и точность дозирования рабочей жидкости, так как процесс набора и дозирования происходит вручную и визуально.

.Цель изобретения- повышение производительности и точности дозирования о

Указанная цель достигается тем, что в микродозатор, содержащий корпус с каналом и поршень, надетый на дозирующий элемент с осевым капиллярным каналом, причем канал корпуса и дозирующий элемент расположены соос- но, введена камера с мембраной, р азд ляющей ее на две полости, в каждой из которых выполнено отверстие для попеременного сообщения с источником давления и атмосферой, а дозирующий элемент выполнен в виде штока, концами расположенного по разные стороны поршня, разделяющего корпус на рабочую и приводную камеры, последняя из которых сообщена с одной из полостей камеры, причем на выходном конце штока, размещенном в рабочей камере, выполнен радиальный капиллярный канал, сообщенный с осевым капиллярным каналом, а другой конец штока пропущен через скрепленную с ним мембрану в другую полость камеры, которая снабжена запорным органом для осевого капиллярного канала. Выходной конец штока сопряжен с каналом корпуса с возможностью осевого перемещения, а также тем, что выходной конец штока выполнен в виде сменного наконечника из антиадгезионного материала.

На фиг. 1 схематически представлен, микродозато р; на фиг. 2а,б - схема процесса образования микродозы: на фиг. 2в - схема вытекания

10

15

20

25

.

е-jg&, 7199084

микродозы при наклонном боковом канале.

Микродозатор содержит корпус 1 со съемной крышкой 2, в котором расположены рабочая 3 и приводная k камеры, разделенные между собой поршнем 5, надетым на дозирующий элемент, который выполнен в виде штока 6 с осевым каналом 7, соединенного по резьбе 8 с наконечником 9 с осевым капиллярным каналом 10 и сообщенным с ним радиальным капиллярным каналом II. В наконечнике 9 выполнена заборная полость 12. Шток 6 скреплен с мембраной 13, закрепленной в камере 14 и разделяющей ее на две полости 15, -одна из которых сообщена через дроссельное отверстие 16 с приводной камерой Ь, а вторая полость снабжена запорным органом 17 в виде канала, выполненного в корпусе камеры 14..Отверстия 18 и 19 предназначены для попеременного сообщения полостей 15 с источником сжатого воздуха и атмосферой. Шток 6 подпружинен с помощью пружины 20, размещенной в стакане 21.

Наконечник 9 выполняют из анти- адгезионного материала.

Микродозатор работает следующим образом

Перед началом работы рабочую камеру 3 заправляют дозируемой жидкостью. В исходном положении штока 6 заборная полость 12 перекрыта стенками канала крышки 2, сопряженного с выходным концом наконечника 9, а осевой канал 7 штока 6 сообщен с полостью 15. При подаче сжатого воздуха в отверстие 18 полости 15 он поступает через отверстие 16 в приводную камеру 4, при этом верхняя полость 15 сообщена с атмосферой„ Мембрана 13 под действием сжатого воздуха . перемещает скрепленный с ней шток 6 вверх. При этом запорный орган 17 в виде канала перекрывает осевой канал 7, а заборная полость 12 наконечника 9 сообщена с рабочей камерой 3 Сжатый воздух, поступивший в приводную камеру 4, воздействует на поршень 5, который заталкивает порцию дозируемой жидкости через заборную полость 12 и радиальный капиллярный-канал 11 в осевой капиллярный канал 10 (фиг 2а)о Величина микродозы определяется диаметрами капиллярных каналов 10 и 11, диаметром отверстия 16 и временем подачи сжатого возлуха35

40

55

Изобретение относится к дозирующим устройствам и позволяет повысить производительность и точность. При подаче сжатого воздуха в отверстие 18 полости 15 он поступает через отверстие 16 в приводную камеру 4. Мембрана 13 под действием сжатого воздуха перемещает скрепленный с ней дозирующий элемент в виде штока 6 с осевым капиллярным каналом, при этом конец штока, расположенный в полости 15 камеры, взаимодействует с выпол- г ненным в ней запорным органом 1.7 в виде отверстия,.которое перекрывает осевой канал 7, а радиальный капиллярный канал 11, выполненный на выходном конце штока, размещенном в рабочей камере 3, сообщается с последней. Сжатый воздух,поступивший в приводную камеру 4, воздействует на поршень 5, который заталкивает дозу жидкости из рабочей камеры 3 в осевой капиллярный канал 10. После этого подается сжатый воздух в отверстие 19, а отверстие 18 сообщается с атмосферой. Мембрана 13 со штоком 6 перемещается, при этом радиальный капиллярный канал 11 отсекается каналом корпуса 1 от рабочей камеры 3. Одновременно из полости 15 сжатый воздух поступает в осевой канал 7 штока 6 и выдает дозу жидкости, сформированную в осевом капиллярном канале 10. 1 з.п ф-лы, 2 ил. (Л

фиг. 2