Способ изготовления пьезокерамических фильтров на поверхностных акустических волнах по групповой технологии Советский патент 1992 года по МПК H03H3/08 

логических режимов обжига пьезокерами- ческих заготовок, а определение пористости проводится с помощью тестовых пьезокерамических пластин, на рабочей поверхности которых выполнены встречно- штыревые структуры (ВШС) и структуры в форме меандра.

Данный способ изготовления пьезокерамических фильтров по групповой технологии заключается в следующем. После операций подготовки шихты, ее синтеза и прессования заготовок проводятся операции обжига, механической обработки, поляризации и контроля электрофизических- акустических параметров, а также пористости поверхности тестовых пластин, полученных при различных температурах обжига.

В тесте на пористость поверхности пластин электродные структуры на тестовых пластинах выполнены в процессе фотолитографии в виде ВШС или меандров и разбиты на четыре группы по KiN структур в каждой, где N - число чипов фильтров ПАВ на одной пластине; Xi(, 2, 3, 4) - коэффициенты пропорциональности, представляющие собой рациональные дроби. Две группы структур выполнены в виде меандров и оставшиеся две группы в виде ВШС. Длину каждого электрода одной из меан- дровых структур выбирают пропорциональной суммарной длине электродов аподизованного ВШП, ширину электродов - равной ширине электродов аподизованного ВШП, а расстояние между электродами - равным или большим расстоянию между электродами аподизованного ВШП.Аналогично выбирают длину, ширину электродов и расстояние между ними в другой группе меандровых структур в соответствии с размерами неаподизованного ВШП фильтра. Апертуру одной из групп ВШС выбирают пропорциональной суммарной длине перекрытий противофазных электродов аподизованного ВШП, расстояние между электродами ВШС - равным расстоянию между противофазными электродами аподизованного ВШП, а ширину электродов ВШС - равной или большей ширине эяект- родов аподизованного ВШП, Аналогично выбирают апертуру, расстояние между электродами и их ширину в другой группе ВШС на основе размеров неаподизованного ВШП фильтра. Под длиной перекрытий ВШП LW имеется ввиду величина Lw W -М- F, где W - апертура; М - число штыревых электродов: F - функция аподи- зации, причем все эти параметры (, W, M, F) являются соответственно параметрами либо аподизованного. либо неаподизованного ВШП. Под длиной штырей ВШП L имеется ввиду величина L(W+p)M F, где р - зазор между соосными концами противофазных штыревых электродов аподизованного или неаподизованного ВШП. Для неаподизованного ВШП .

Меандровые структуры служат для определения числа разрывов, а структуры в виде ВШС - для определения числа закоро0 ток, т.е. для контроля пористости поверхности, приводящей к разрывам или закороткам в электродных структурах ВШП, О наличии разрыва или закоротки судят по величине активного сопротивления

5 меандра или ВШС соответственно.

По результатам контроля пористости, т.е. наименьшему числу разрывов и закоро- ток описанных электродных стртуктур при удовлетворении требованиям на электрофи0 зические и акустические параметры пластин, выбирается температура обжига всей партии пьезокерамических заготовок. Эта температура обжига является наилучшей для данного состава шихты, исходя из наи5 большего числа выхода годных фильтров на ПАВ с заданной электродной структурой.

В дальнейшем вся партия пьезокерамических пластин поляризуется и на них изготавливаются электродные структуры ВШП

0 фильтров на ПАВ (фильтров на ПАВ). Чипы фильтров далее проходят операции сборки и контроля параметров фильтров.

Использование данного способа изготовления фильтров на ПАВ обеспечивает

5 увеличение процента выхода годных изделий по операции контроля электропараметров на 3%, а также прогнозирование процента выхода годных фильтров и поэтому своевременно отслеживаются наруше0 ния в технологических режимах операций фотолитограмм и сборки, причем не происходит увеличения общей трудоемкости изделий при серийном их производстве. Формула изобретения

5 Способ изготовления пьезокерамических фильтров на поверхностных акустических волнах по групповой технологии, включающий формирование пьезокерамических заготовок, их обжиг и поляризацию,

0 контроль электрофизических параметров и формирование на рабочей грани пьезокерамических заготовок электродных структур с аподизованными и неаподизованными встречно-штыревыми преобразователями

5 (ВШП), отличающийся тем, что, с целью увеличения выхода годных, одновременно с формированием пьезокерамических заготовок дополнительно изготавливают тестовые пьезокерамиче- ские пластины, проводят из обжиг и поляризацию, формируют на их поверхности меан- дровую структуру (МС) и встречно-штыревую структуру (ВШС), контролируют число разрывов в ВШС и закороток в МС путем измерения электрического сопротивления ВШС и МС, при наличии разрывов в МС и закороток в ВШС проводят повторное изготовление тестовых пьезокерамических пластин и устанавливают температуру их обжига, при которой обеспечивается наименьшее число разрывов в МС и закороток в ВШС, а температуру обжига пьезокерамических заготовок выбирают равной этой температуре обжига тестовых пьезокерамических пластин, при этом осуществляют

0

5

формирование ВШС и МС в виде двух групп электродов каждой, выполняя длину каждого электрода в первой и второй группах МС пропорциональной суммарной длине электродов аподизованного и неаподизованного ВШП соответственно, апертуру первой и второй групп ВШС - пропорциональной суммарной длине перекрытий электродов неаподизованного и аподизованного ВШП соответственно, а ширину электродов и расстояние между соседними электродами в обеих группах МС и ВШС - равными или превышающими ширину электродов и расстояние между соседними электродами ВШП соответственно.

Изобретение относится к радиоэлектронике. Целью изобретения является увеличение выхода годных при изготовлении пьезокерамических фильтров на ловерхноИзобретение оттносится к групповой технологии изготовления телевизионных пьезокерамических фильтров на поверхностных акустических волнах (ПАВ) и может быть использовано при их массовом производстве в заводских условиях. Целью изобретения является повышение выхода годных фильтров. Указанная цель достигается тем, что согласно способу изготовления пьезокерамических фильтров на ПАВ по групповой технологии, включающему изготовление стных акустических волнах (ПАВ). При их изготовлении по групповой технологии одновременно с формированием пьезокерамических заготовок дополнительно изготавливают тестовые пьезокерамиче- ские пластины, проводят их обжиг и поляризацию. На поверхности этих пластин формируют встречно-штыревую структуру (ВШС) и меандровую структуру (МС) и контролируют число разрывов в ВШС и закоро- ток в МС путем измерения электрического сопротивления ВШС и МС. Устанавливают температуру обжига этих пластин по критерию наименьшего числа разрывов в ВШС и закороток в МС. Температуру обжига пьезокерамических заготовок выбирают равной этой температуре. Геометрические характеристики электродов ВШС и МС при их формировании выбирают связанными с геометрическими характеристиками встречно-штыревых преобразователей (ВШП) пьезокерамических фильтров. Это позволяет отследить отклонения в технологических режимах изготовления пьезоткерамических фильтров на ПАВ по групповой технологии. пьезокерамических заготовок, обжиг и поляризацию пьезокерамических заготовок, контроль их электрических и акустических параметров, изготовление на рабочей поверхности пьезокерамических заготовок электродных структур, каждая из которых содержит анодизсванный и неанодизован- ный встречно-штыревые преобразователи (ВШП), дополнительно осуществляется определение пористости рабочей поверхности пьезокерамическо/i заготовки, по результатам которого проводится коррекция техносл С ч со ю N -ч| ,vl