Экран цветной электронно-лучевой трубки и способ его изготовления Советский патент 1992 года по МПК H01J29/10 H01J9/22 

Изобретение относится к электронной технике и может быть использовано при изготовлении цветных электронно-лучевых трубок (ЦЭЛТ).

Целью изобретения является уменьшение газовыделения экрана и повышение прочности за счет физико-механической согласованности слоев его тонкопленочной композиции (для повышения, в частности, устойчивости к механическим и температурным воздействиям)

На чертеже схематически изображен фрагмент экрана ЦЭЛТ с антидоминговым покрытием.

Среди конструктивных элементов, которые могут быть использованы в предложенном экране ЦЭЛТ, целесообразно применять черную матрицу для увеличения контрастности изображения

Антидоминговое покрытие 1 нанесено на алюминиевую пленку 2 на люминофор- ной структуре 3, расположенной на стеклянной панели 4 экрана, которые не отличаются от известных.

Состоит антидоминговое покрытие 1 из поглощающего слоя 5 на основе хрома, кремния, их окислов и нитридов и дополнительного согласующего слоя 6 на основе хрома и кремния, расположенного между ними

Соотношение толщин 5а , 5с , и 5п соответственно алюминиевого, согласующего и поглощающего слоев при этом выбрано в пределах:

2,5- 5c/dn 16; 5,5 102 5с/бп 14.

Так как составные компоненты материалов согласующего и поглощающего слоев существенно влияют на уменьшение газовыделения и физико-механическую согласованность антидомингового покрытия, они

00

го ел

указаны в формуле изобретения наряду с отличительными конструктивными признаками.

При необходимости повышения контрастности изображения возможно также использование технологии нанесения черной матрицы.

После нанесения алюминиевого слоя напускают в технологический объем аргон до давления Рдг в пределах 2 10 мм рт.ст. Рдг 5- 10 мм рт.ст.

Магнетронным распылением хром- кремниевой мишени с содержанием хрома в пределах 15-48 вес.% осаждают дополнительный согласующий слой в течение времени ti в пределах 2с ti 20 с со скоростью Vi нанесения в пределах 0,5 нм/с Vi 10 нм/с.

Затем напускают в объем дополнительно кислородно-азотную смесь до суммарного с аргоном давления Р в пределах

4- мм рт.ст. Р 7- мм рт.ст.

при соотношениях давлений Рдг аргона и РОЗ + N2 кислородно-азотной смеси в пределах 0,2 Рдг/Ро2+Ыа 9,3 и давлений Ро2 кислорода и Рма азота в пределах 0,1 P02/PN2 1,5.

Реактивным магнетронным распылением хром-кремниевой мишени осаждают поглощающий слой в течение времени 12 в пределах 3 t2 25 со скоростью V2 нанесения в пределах 0,4 нм/с V2 8 нм/с.

Эксперименты показали, что предельные величины параметров были получены путем анализа и статистической обработки экспериментальных данных, исходя из условия обеспечения минимальных значений газовыделения при достаточной физико-механической согласованности слоев и их прочности, предотвращающих разрушение антидомингового покрытия экрана ЦЭЛТ.

Предлагаемый экран ЦЭЛТ и способ его изготовления позволили на 3-4 порядка уменьшить газоотделение в ЭЛТ по сравнению, например, с широко используемым в экранах углеродным антидоминговым покрытием.

Выход за предельные значения заявленных параметров приводит к первым признакам разрушения антидомингового покрытия, в именно к появлению на нем трещин, и отделению от него небольших кусков (посторонних частиц в кинескопе), которые являются одной из важнейших причин брака в производстве известных ЭЛТ.

В таблице показаны примеры конкретного выполнения предложенных устройства и способа.

В качестве оптимального варианта

указаны значения параметров, при соблюдении которых при минимальном газовыделении не возникало признаков разрушения антидомингового покрытия при имитации самых жестких условий его изготовления и

эксплуатации.

На практике достижение поставленной цели, а также снижение взаимосвязанных с нею типов брака мал ток луча и появление посторонних частиц было отмечено

при использовании заявленных объектов в процессе изготовления опытных модернизированных образцов дисплейных кинескопов 51ЛКД2Ц-С, экран и технологию изготовления которых можно считать базовым объектом предложенных технических решений.

Формула изобретения 1. Экран цветной электронно-лучевой трубки, содержащий последовательно расположенные на подложке люминофорную структуру, алюминиевую пленку и поглощающий слой, отличающийся тем, что, с целью уменьшения газоотделения и повышения прочности, поглощающий слой выполней из материала на основе хрома, кремния, их окислов и нитридов, а между алюминиевой пленкой и поглощающим слоем введен дополнительно согласующий слой на основе хрома и кремния, толщина

которого выбрана из выражений

v2

2,5- дс/дэ 16; 5,5 102 14,

где (5а - толщина алюминиевой пленки, мм; дс - толщина поглощающего слоя, м. 2. Способ изготовления экрана цветной эл.ектронно-лучевой трубки, включающий

нанесение на люминофорную структуру органической пленки, алюминиевой пленки, поглощающего слоя и последующее выжигание органической пленки,отличающий- с я тем, что, с целью уменьшения газоотделения и повышения прочности, после нанесения алюминиевой пленки в среде аргона при давлении 3- - 7- Па осуществляют нанесение дополнительного согласующего слоя методом магнетронного

распыления хром-кремниевой мишени с содержанием хрома 15-48 мас.%, в течение 2-20 с со скоростью напыления 0,5-10 нм/с, затем в технологический обьем дополнительно вводят кислородно-азотную смесь с

отношением парциальных давлений кислорода и азота 0,1-1,5 до установления общего давления б 101 Па при отношении парциальных давлений аргона и кислородно-азотной смеси 0,2-9,3 и нанесение поглощающего слоя ведут методом реактивного магнетронного распыления той же мишени в течение 3-25 с со скоростью 0,4-0,8 нм/с.

Использование: цветные электроннолучевые трубки Сущность изобретения экран содержит люминофорную структуру, пленку алюминия и поглощающий слой на основе хрома, никеля, их окислов и нитридов. Между алюминиевой пленкой и поглощающим слоем введен согласующий слой на основе хрома и кремния. Приведены выражения для выбора его толщины. Согласующий слой изготавливают путем магнет- ронного распыления хромкремниевой мишени с содержанием хрома 15-48 мас.% в среде Аг. Поглощающий Слой наносят реактивным магнетронным распылением той же мишени в среде, дополнительно содер жащей кислород и азот. Указаны режимы напыления 1 ил , 1 табл.

Х

(ччлЧчуСч

y/////ss2///2 ////

/ /v /

(ччлЧчуСч

У