Фильтр Советский патент 1992 года по МПК B01D46/54 

Изобретение относится к области микрофильтрации газообразованных и других сред в процессах микроэлектроники, и также может быть использовано в других областях.

Известен фильтр, содержащий фланцы, выполняющие роль корпуса, между которыми заключен фильтрующий элемент.

В известной конструкции основная масса газа поступает из входного отверстия в центральную часть фильтрующего элемента, что приводит к неравномерному распределению скорости газового потока по площади фильтрующего элемента и тем самым снижает пропускную способность фильтра, эффективность фильтрации, ресурс работы, а следовательно, технические характеристики фильтра.

Наиболее близким решением по технической сущности является фильтр, содержащий боковые крышки с опорными выступами, входной и выходной каналы, между боковыми крышками установлен вкладыш в виде полого цилиндра с входной и выходной полостями, которые разделены вертикальной перегородкой, в полостях между опорными сетками

расположены основной и дополнительный фильтрующие элементы. Во вкладыше предусмотрены входные и выходные каналы.

Связанное с наличием каналов распределение газового потока создает благоприятные условия для более равномерного его распределения. Однако скорость газа на поверхности фильтрующих элементов остается переменной. Это объясняется неравномерностью и различием условий подачи элементов, а также различием гидравлических сопротивлений основной и дополнительной ступени фильтрации.

Все это приводит к снижению пропускной способности фильтра. При этом вкладыш имеет достаточно сложную форму, что приводит к усложнению всей конструкции фильтра.

Целью изобретения является повышение пропускной способности фильтра при сохранении эффективности фильтрации.

Эта цель достигается тем, что фильтр, содержащий вкладыш с входным и выходным каналами для газа, боковые крышки с опорными выступами и фильтрующие элементы, снабжен газопроницаемой вставсл ш

кой, размещенной между фильтрующими элементами, вкладыш выполнен с кольцевой проточкой, соединенной с входным каналом, при этом вставка установлена под проточкой, а ее ширина превышает ширину проточки.

Эта цель достигается также и тем, что вставка выполнена в виде кольца из пористого материала.

На фиг. Гпрёдставлен общий вид фильтра; на фиг. 2 - бечениё А-А на фиг. 1.

Фильтр сод е|Гжит вкладыш 1 с входным 2 и выходным 3 каналами, боковые крышки 4 и 5 с опорными выступами 6 и зазором 7. Между ними во вкладыше 1 выполнена кольцевая проточка 8, соединенная с входным каналом 2. Под проточкой 8 симметрично размещена газопроницаемая кольцевая вставка 9 между фильтрующими элементами из пористого материала 10 и 11 и выполнена в виде кольца.

Фильтр работает следующим образом.

Фильтрующий газ поступает через входной канал 2 вкладыша 1, затем в кольцевую проточку 8, из нее проходит через газопроницаемую кольцевую вставку 9, фильтрующие элементы 10 и 11, поступает в зазор между опорными выступами и затем в выходной канал 3 вкладыша 1.

Снабжение газопроницаемой вставкой, размещенной между фильтрующими элементами, выполнение ее кольцевой и размещение под проточкой с шириной, превышающей ширину проточки, обеспечивает равномерную подачу газа на фильтрующие элементы, практически независимо от объемного расхода фильтруемого газа, а это повышает пропускную способность фильтра при сохранении эффективности фильтрации.

Выполнение во вкладыше кольцевой проточки, соединенной с входным каналом, обес- печивает возможность равномерного растекания газа по поверхности вставки, что

также повышает пропускную способность фильтра при сохранении эффективности фильтрации.

Выполнение газопроницаемой вставки из пористого материала, например из пористой нержавеющей стали, позволяет еще более увеличить равномерность распределения газовых потоков на фильтрующих элементах и, следовательно, повышает пропускную способность фильтра.

Кроме этого, предлагаемая конструкция фильтра обеспечивает повышение его срока службы за счет осуществления грубой фильтрации потока самой пористой вставкой, а также за счет более простого выполнения

вкладыша упрощена и сама конструкция фильтра.

Формула изобретения

1.Ф ильтр, содержащий вкладыш с вход- ным и выходным каналами для газа, боковые крышки с опорными выступами и фильтрующие элементы, отличакЭщий- с я тем, что, с целью повышения пропускной способности фильтра при сохранении

эффективности фильтрации, фильтр снабжен газопроницаемой вставкой, размещенной между фильтрующими элементами, вкладыш выполнен с кольцевой проточкой, соединенной с входным каналом, при этом

вставка установлена под проточкой, а ее ширина превышает ширину проточки.

2.Фильтр по п. 1,отличающийся тем, что вставка выполнена в виде кольца из пористого материала,

10/

U-.

ГА .

7

А-А

Использование: к области микрофильтрации газообразных и других сред в процессах микроэлектроники и других областях. Сущность изобретения: выполнение вкладыша с кольцевой проточкой обеспечивает возможность растекания газа по поверхности вставки, а выполнение вставки кольцевой и газопроницаемой позволяет производить равномерную подачу газа на фильтрующие элементы, независимо от объемного расхода фильтруемого газа 1 з п. ф-лы, 2 ил.

Редактор А.Зробок

Составитель Н.Ковалева Техред М.Моргентал

Р. 2

Корректор П.Гереши