Фильтр для агрессивных газов Советский патент 1987 года по МПК B01D46/54 

Изобретение относится к сменным мембранным фильтрам и предназначено для микроочистки газов в процессах микроэлектроники, а также может быть использовано и в других областях.

Цель изобретения - увеличение площади фильтрации и производительности фильтра цри том же диаметре фильтруюш,его элемента и обеснечение коррозионной стойкости деталей фильтра к агрессивным средам.

Для обеспечения коррозионной стойкости в агрессивных средах детали фильтра, контактирующие с рабочими газами, выполнены из термопластичных фторопластов.

На чертеже изображен предлагаемый фильтр, общий вид.

Фильтр имеет входной 1 и выходной 2 фланцы, вкладыш 3, выполне ный в виде полого цилиндра, с полостями 4 и 5, разделенными вертикальной разделительной перегородкой 6. Во вкладыше между опорными сетками 7 и 8 расположены фильтрующие элементы 9 и 10, отделяющие полости 4 и 5 вклaдыпJa 3 от полостей фланцев. Для герметизации полостей 4 и 5 служат уплотнения П.

На периферийной части вкладыща 3 расположены нижний 12 и верхний 13 проходные каналы, имеющие одинаковые конфи- 17рацию и длину и соединяющие соответственно полость 4 вкладыша с полостью выходного фланца 2, а полость 5 вкладыща - с полостью входного фланца 1. На торцах вкладыщ а 3 имеются выступы 14, а во фланцах 1 и 2 - соответствующие им впадины 15 для исключения относительного поворота. Между вкладыщем 3 и фланцами 1 и 2 установлены уплотнения 16, обеспечивающие герметичность полостей фильтра но отношению к окружающей среде.

Стягивающим приспособле 1ием является съемный бандаж 17. который служит для соединения деталей фильтра. При работе фильтра газ, поступаюидий во входной фланец, разделяется на ,.ва потока, один из которых проходит через фильтру.ющий элемент 9 в полость 4 вкладьп-иа, а затем через проходные каналы 12 поступает в выходной фланец, а другой по каналам 13 поступает в полость 5 вкладьппа и проходит через фильтрующий элемент 10 в выходной фланец, где оба потока суммируются.

Фланцы, вкладьии с перегородкой, опорные сетки и уплотнения изготосзлены из термопластичных фторопластов: литьевбго и эластичного, причем фланцы, опорные сетки и фильтруюпдие элементы выполнены между собой взаимозаменяемыми.

Так как конфигурация и длина проходных каналов 12 и 13 одинаковы, их газо10

15

20

25

30

35

40

45

50

динамические сопротивления ид что обеспечивает прохождение через ющие элементы 9 и 10 одинаково чества газа.

Расположение проходных канал 13 в периферийной части вкладыщ ловливает равномерное распределе вого потока но поверхности фильт элемента, что способствует увеличе изводительности фильтра.

В фильтре для агрессивных газ назначенном для микроочистки, п тельная и тонкая очистка нредусм самом фильтрующем элементе, кото тоит из двух дисков: предфильтра н ультратонкого стекловолокна и фильтрующего диска из пористого пласта с контролируемыми размером апазоне 0.}-0,5 мкм. Вкладыщ с тельной перегородкой и проходны лами, на торцах которого укреплен рующие элементы в опорных сетках чивает одновременную параллельну обоих фильтрующих элементов, что ловливает увеличение эффективной фильтрации, а следовательно, произ ности фильтра по сравнению с ф одинарным, т.е. фильтро.м без вк при том же диаметре фильтрующ мента.

Предлагаемый фильтр компакте жен и стабилен в эксплуатации высокую эффективность фильтраци этом удобен и прост в обслужи при замене фильтруюндих элементо

Формула изобретения

1..Фильтр для агрессивных га держащий входной и выходной ф уплотнениями и стягивающим прис нием, вкладыш с одинаковыми по гурации верхним и нижпи.м 1роход налами, последовательно уста1 овл вкладыше и укрепленные в опорны фильтрующие элементы, отличающи что, с целью увеличения площади ции и производительности филь снабжен вертикальной разделител регородкой, прикрепленной к верхне ней противопо.тожным частям боко верхности вкладыща, выполненного полого цилиндра, при этом вход и выход нижнего каналов размещ торцах вкладыща, а выход верхнег нижнего каналов - на перегородке

2.Фильтр по п. К отличающи что, с целью обеспечения корро стойкости, фланцы, уплотнения, вкл перегородкой и опорные сетки вы

из термопластичных фторопластов.

Составите, iij li. Кова. Техред И. ВерееКорректор Е. Рошко

Тираж 656Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по .целам изобретений и открытий

1 130.35, Моеква. Ж-35, Раушская наб-., д. -4/5 Пр 1И31юдетвен 10-полиграфическое предприятие, г. Ужтород, ул. 1 |роектная, 4

0

5

0

5

0

0

5

0

динамические сопротивления идентичны, что обеспечивает прохождение через фильтрующие элементы 9 и 10 одинакового количества газа.

Расположение проходных каналов 12 и 13 в периферийной части вкладыща 3 обусловливает равномерное распределение газового потока но поверхности фильтрующего элемента, что способствует увеличению производительности фильтра.

В фильтре для агрессивных газов, предназначенном для микроочистки, предварительная и тонкая очистка нредусмотрена в самом фильтрующем элементе, который состоит из двух дисков: предфильтра на основе ультратонкого стекловолокна и чистого фильтрующего диска из пористого фторопласта с контролируемыми размером по.р в диапазоне 0.}-0,5 мкм. Вкладыщ с разделительной перегородкой и проходными каналами, на торцах которого укреплены фильтрующие элементы в опорных сетках, обеспечивает одновременную параллельную работу обоих фильтрующих элементов, что и обусловливает увеличение эффективной площади фильтрации, а следовательно, производительности фильтра по сравнению с фильтром одинарным, т.е. фильтро.м без вкладыща, при том же диаметре фильтрующего элемента.

Предлагаемый фильтр компактен, надежен и стабилен в эксплуатации, имеет высокую эффективность фильтрации и при этом удобен и прост в обслуживании и при замене фильтруюндих элементов.

Формула изобретения

1..Фильтр для агрессивных газов, содержащий входной и выходной фланцы с уплотнениями и стягивающим приспособлением, вкладыш с одинаковыми по конфигурации верхним и нижпи.м 1роходными каналами, последовательно уста1 овленпые в вкладыше и укрепленные в опорных сетках фильтрующие элементы, отличающийся тем, что, с целью увеличения площади фильтрации и производительности фильтра, он снабжен вертикальной разделительной перегородкой, прикрепленной к верхней и нижней противопо.тожным частям боковой поверхности вкладыща, выполненного в виде полого цилиндра, при этом вход верхнего и выход нижнего каналов размещены на торцах вкладыща, а выход верхнего и вход нижнего каналов - на перегородке.

2.Фильтр по п. К отличающийся тем, что, с целью обеспечения коррозионной стойкости, фланцы, уплотнения, вкладыщ с перегородкой и опорные сетки выполнены

из термопластичных фторопластов.

Изобретение относится к сменным мембранным фильтрам, предназначено для микроочистки газов в техпроцессах микроэлектроники, но может быть использовано и в других областях, например в процессах фильтрации; оно позволяет увеличить в два /7/if / J 72 раза эффективную площадь фильтрации, производительность фильтра и обеспечивает высокую коррозионную стойкость в агрес- сиБны.х средах. Фильтр включает фланцы 1, 2 с уплотнениями II, 16, стягивающее приспособление в виде съемного бандажа 17, вкладыш в виде полого цилидра 3 на боковых поверхностях которого размещены в.ход верхнего 13 и выход нижнего 12 каналов. Фильтр снабжен вертикальной разделительной перегородкой 6, прикрепленной к верхней и нижней противоположным частям боковой поверхности вкладыша, при этом выход верхнего канала 13 и вход нижнего канала 12 расположены на перегородке 6. Кроме того, фланцы, уплотнения, вкла- дьпп с перегородкой и опорные сетки выполнены из термопластичных фторопластов. 1 з.п.ф-лы. 1 ил. /JJ SS // tsO 00 00 оо