Устройство для определения концентрации микрочастиц в жидкости Советский патент 1992 года по МПК G01N15/02 

Изобретение относится к измерительной технике, в частности к устройствам для измерения концентрации твердых примесей в высокочистых жидких средах, и может быть использовано в электронной и химической промышленности для определения степени очистки веществ.

Известны устройства для определения концентрации и размерного распределения частиц в жидкости по интенсивности света, рассеянного частицами, которые, перемещаясь а потоке исследуемого жидкости, пересекают освещенную рабочую зону в проточной кювете,

Наиболее близкими по технической сущности к предполагаемому изобретению является автоматический проточно-ультрамикроскопический анализатор количества и размеров микрочастиц в жидких средах ФПУ-1. Анализатор содержит канал подачи исследуемой жидкости, проточную кювету, оптико-электронную систему регистрации. Частицы, взвешенные в жидкой среде, протекающей по каналу подачи жидкости через кювету, пересекая освещенную зону, рассеивают сэзтовой поток. Рассеянный свет регистрируется фэтоприемииком и обрабатывается электронной схемой, которая ведет подсчет микрочзст ,.

В условиях современного производства изделий микроэлектроники необходим непрерывная и оперативная информация с соответствии среды нормам содержания микрочастиц. Непрерывный контроль можно обеспечить, подключив прибор непосредственно к магистрали подачи жидкости в помещении, где она используется. ГЪ ОСТ 11 00.067-82 температура в чистых ниях должна составлять 20-25 с. Коммуникации по которым поступают технологические жидкости проходит за гро- делами чистых помещений, где тег. .ерату а преобладающую часть седа ниже. 3 тате, при прохождении жидкости по гидравлическому тракту устройства, происллд т повышение температуры исследуемой жидкости. Поскольку жидкие технопогическме среды представляют собой, а основном, воду и водные оаствооы, нагрев их приводит к выделению растворенного воздуха и ofcpa(Л

xj СП 00

ел

«.

зования микропузырьков, Пересекая вместе с потоком жидкости рабочую зону, они регистрируются как микрочастицы,|Г о вносит погрешности в результаты измерения. Часть пузырей оседает на прозрачных стенках кюветы, что приводит к повышению светорассеяния, а значит, и уровня шумов. Цель изобретения - повышение точности измерений в высокочистых жидкостях,

Поставленная цель достигается тем, что в устройство для определения концентрации микрочастиц в жидкости, содержащее канал транспортировки исследуемой среды, проточную кювету, осветитель, формирующий рабочую зону, оптико-электронную схему регистрации микрочастиц, дополнительно введены последовательно соединенные нагреватель и деаэратор, причем выход деаэратора соединен со входом канала транспортировки среды.

На чертеже изображена схема предлагаемого устройства.

Устройство состоит из нагревателя 1, деаэратора 2, канала транспортировки исследуемой среды 3, проточкой кюветы 4, осветителя 5, оптико-электронной схемы освещения и регистрации микрочастиц 6.

Устройство работает следующим образом. Исследуемая высокочистая жидкость проходит нагреватель, где ее температура повышается до уровня окружающей среды,

т.е. до температуры элементов устройства. Растворенный воздух выделяется в деаэраторе. В результате, при прохождении жидкости по тракту устройства, не происходит образования микропузырьков воздуха.

Таким образом, в предлагаемом устройстве устраняется погрешность в определении концентрации микрочастиц, вызванная регистрацией микропузырьков воздуха.

Ф о р м у л а и з о б р ете н и я

Устройство для определения концентрации микрочастиц в жидкости, содержащее канал транспортировки исследуемой среды, проточную кювету, оптико-электронную схему освещения и регистрации микрочастиц, отличающееся тем, что, с целью повышения точности измерений, в устройство дополнительно введены последовательно соединенные нагреватель и

деаэратор, причем выход деаэратора соединен с входом канала транспортировки среды.

Использование: непрерывный контроль, содержания микрочастиц в рабочих средах. Сущность изобретения: устройство дополнительно содержи; нагреватель и деаэратор дпя исключения влияния газов, расгеореннич в исследуемой жалости. 1 з. П. 6-ЛЬ , 1 ИЛ.