Способ изготовления записывающей головки струйного типа Советский патент 1993 года по МПК G01D15/18 

Изобретение относится к области приборостроения, а именно к элементам конструкции регистрирующих устройств, и может быть использовано при изготовлении записывающих устройств - головок струйного типа, наносящих чернила на поверхность носителя записи..

Целью изобретения является упрощение способа за счет снижения трудоемкости изготовления сопловой пластины.

На фиг. 1 приведен общий вид записывающей головки струйного типа; на фиг. 2 - вид Б на фиг. 1; на фиг. 3 - сечение А-А на фиг. 1; на фиг. 4-8 - тех.процесс изготовления многофункциональной пластины.

Сущность способа изготовления записывающей головки заключается в том, что изготавливают подложку 1 с резистивными

элементами 2, изготавливают многофункциональную пластину 3 и соединяют их между собой (фиг.1). При этом изготовление многофункциональной пластины 3 начинают с получения заготовки 4 (фиг. 4).

Заготовку нарезают из бронзовой фольги марки ДПРНТБрБ2-0,1 ГОСТ 1879-70. После получения заготовки формируют на ней методом двухсторонней фотолитографии обратную фоторезистиёную маску 5 (фиг.4) под сквозные отверстия 6 и под выступы 7 (фиг.З).

Затем по полученной фоторезистивной маске 5 проводят гальваническое никелирование 8 (фиг.5), далее идет снятие фоторезистивной маски 5 (фиг.6) и заканчивается процесс фотолитографии травлением (фиг.4), в результате которого получают

00

о о

СА) Ю XJ

ы

сквозные отверстия 6 и выступы 7 (фиг .Т). Затем на готовую многофункциональную пластину наносят защитное гальваническое покрытие никеля 9 (фиг.9).

По предложенному способу изготовлв ны работающие записывающие головки со следующими техническими параметрами:

диаметр сопловых отверсшй 60-70 мкм с точностью 2 мкм;

; высота выступов составила 50-65 мкм с точностью выполнения ±2 мкм,

Ф о р м у л а и з о б р ёт е н и я Способ изготовления записывающей головки струйного типа, заключающийся в формировании подложки с резистивными

нагревателями, многофункциональной пластины из бронзовой фольги и соединении ее .с подложкой, а при изготовлении многофункциональной пластины на заготовке формируют фоторезистивную маску под сквозные отверстия, производят травление, удаление фоторезиста и нанесение на поверхности подложки защитного гальванического покрытия, отличающий с я тем, что, с целью упрощения и снижения трудоемкости изготовления, дополнительно формируют фоторезистивную маску под выступы с обратной стороны заготовки, затем на обе стороны заготовки производят гальваническое осаж- 5 дение слоя никеля и удаляют слой фоторезиста перед травлением.

Изобретение относится к приборостроению, а именно к элементам конструкции регистрирующих устройств, и может быть использовано при изготовлении записывающих устройств - головок струйного типа, наносящих красящие вещества, например чернила, на поверхность носителя записи. Цель изобретения - упрощение способа изготовления записывающей головки струй-, ного типа за счет снижения трудоемкости изготовления сопловой пластины - достигается за счет того, что изготавливают подложку с резистивными элементами, изготавливают многофункциональную пластину и соединяют их между собой. Изготовление многофункциональной пластины начинают с получения заготовки, которую нарезают из бронзовой фольги. На заготов- ,ке методом фотолитографии формируют фо- торезистивную маску под сквозные отверстия, одновременно формируют ее и под выступы, затем по полученной обратной фоторезистивной маске проводят гальваническое осаждение никеля, а удаление фоторезиста осуществляется перед травлением. 8 ил. ел

Фиг. {

А-А

вид В

Фиг. г .