Способ изготовления записывающей головки струйного типа Советский патент 1991 года по МПК G01D15/18 

Изобретение относится к приборостро-. ению, а именно к способам изготовления элементов конструкции регистрирующих устройств.

Цель изобретения - повышение производительности и ускорение процесса изготовления.

На фиг. 1 показана записывающая головка, общий вид; на фиг. 2 - разрез А-А на фиг. 1; на фиг. 3 - вид Б на фиг. 1; на фиг. 4 -8 - последовательность изготовления многофункциональной пластины.

При изготовлении подложек 1 с рези- стивными нагревательными элементами 2 используется ситаловая пластина, на которую напыляют тонкие пленки резистивного и проводникового материала. Методом фотолитографии формируют нагревательные элементы (резисторы) и проводники.

При изготовлении многофункциональной пластины 3 заготовку вырезают из бронзовой фольги, обезжиривают венской

известью, декапируют в 10%-ном растворе соляной кислоты и наносят фоторезист на обе стороны заготовки методом окунания. Экспонирование осуществляют через совмещенный пакет шаблонов (двухстороннее совмещение и экспонирование). После проявления засвеченного слоя фоторезиста и термического задубливания производят травление бронзовой фольги в селективном травителе. По окончании травления снимают фоторезист. На полученной заготовке со сквозными отверстиями 4 и глухими отверстиями 5 после проведения повторной очистки проводят вторую фотолитографию, для чего наносят с двух сторон фоторезист и попеременно совмещают и экспонируют фоторезистивную маску 6 под коллектор 7 и выступы 8 на всех модулях групповой обработки. После формирования фоторезистив- ной маски 6 проводят гальваническое наращивание меди, получая при этом коллектор 7 и выступы 8. Затем фоторезист

со

с

о

00 00

OJ

удаляют и наносят защитное гальваническое покрытие 9 из никеля. Проверенные под микроскопом многофункциональные пластины 3 совмещают и склеивают с подложкой 1. Формула изобретения Способ приготовления записывающей головки струйного типа, при котором изготавливают подложку с резистивны- ми нагревательными элементами и много- функциональную пластину из заготовки с последующим соединением их между собой, отличающийся тем. что, с целью

повышения производительности и ускорения процесса изготовления, заготовку пластины получают из бронзовой фольги, методом фотолитографии формируют в заготовке сквозные и глухие отверстия, затем повторной фотолитографией формируют фоторезистивную маску, по которой методом гальванического наращивания формируют выступы из меди, после чего удаляют фоторезистивную маску и проводят защитное гальваническое наращивание никеля на всю поверхность многофункциональной пластины.

Изобретение относится к приборостроению, а именно к способам изготовления струйных пишущих головок. Цель изобретения - упрощение процесса изготовления. Для достижения цели пластину 3 с соплами изготавливают из бронзовой фольги, в которой первым процессом фотолитографии формируют сквозные и глухие отверстия 4 и 5 соответственно, вторым процессом фотолитографии формируют маску, через которую, осаждая медь, получают выступы и наносят защитное покрытие. Полученную заготовку совмещают и склеивают с подложкой, в которой выполнены резистивные нагревательные элементы. 8 ил.

сриг

В ид В

№

фиг3

Фиг Ч

Фи.5

Фиг.в

Фиг. д