СВЧ-контактное устройство Советский патент 1993 года по МПК H01P5/08 G01R27/32 

Изобретение относится к области радиотехники и может использоваться в производстве полупроводниковых приборов и монолитных интегральных схем для измерения их параметров.

Целью изобретения является расширение рабочей полосы в область очень высо-. ких частот.

На фиг.1 представлено контактное устройство, вид снизу; на фиг.2 - контактное устройство, вид сверху; на фиг.З - контактное устройство, вид сбоку.

Контактное устройство состоит из входной коаксиальной линии 1, соединенной через 5&-омный входной к опланарный отрезок 2 с входом (п - 1) кратного умножителя частоты 3, выход которого соединен через металлизированное отверстие 4 в Диэлектрической подложке 5 с одним из входов смесителя 6, другой вход которого соединен непосредственно с контактирующими элементами 7, выход смесителя б соединен через 50-омный выходной копланар- ный отрезок 8 с выходной коаксиальной линией 9.

На умножитель частоты 3 и смеситель 6 подается питание 10 и 11 соответственно.

Устройство работает следующим образом: СВЧ сигнал от микроволнового генератора подается на вход делителя, на выходе которого снимается два сигнала. Один преобразуется в сигнал кратностью n f и поступает на вход измеряемого устройства.

Другой, подается на вход 1, затем через 50-омный копланарный волновод 2 сигнал частотой f поступает на вход (п - 1) кратного умножителя частоты 3, где преобразуется в сигнал кратности (п - 1) f.

С выхода умножителя 3 сигнал подается на один из входов смесителя 6, на другой вход которого через контактирующие элеел

с

00

о

00

ел о

ы

менты 7 и измеряемый СВЧ-прибор подается сигнал кратности nf.

На выходе смесителя б снимается сигнал промежуточной частоты, частота которого на много ниже частоты измерения. Промежуточный сигнал через 50-омный копланарный волновод 8 поступает на выходную коаксиальную линию 9.

Использование данного контактного устройства позволит расширить функциональные возможности, то-есть осуществлять съем сигнала и применять при измерении СВЧ-параметров структур миллиметрового диапазона стандартную КИА (генераторы, измерители мощности и др.) и СВЧ-узлы (аттенюаторы, ответвители и-др.) микроволнового диапазона, тем самым снизив затраты на разработку новых приборов.

//

Формула изобретения СВЧ-контактное устройство содержащее диэлектрическую подложку лицевой стороне которой размещен входной копла- парный отрезок, контактирующие элементы и выходной копланарный отрезок, отличаю- щ е е с я тем, что, с целью расширения рабочей полосы в область очень высоких частот, введен умножитель, который расположен на лицевой стороне диэлектрической подложки и подключен входом в входному копланарно- му отрезку, а выходов - к одному входу введенного смесителя, другим входом подключенного к контактирующим элемен- там, а выходом - к выходному копланарному отрезку, при этом выходной копланарный элемент, смеситель и контактирующие элементы расположены на оборотной стороне диэлектрической подложки.

Использование:.в области радиотехники в производстве полупроводниковых приборов и монолитных интегральных схем для измерения их параметров. Сущность изобретения.: в контактное устройство, содержащее диэлектрическую подложку с входным и выходным копланарными отрезками, введен смеситель частоты, один из входов которого соединен непосредственно с контактирующими элементами, другой с выходами введенного умножителя частоты, вход которого и выход смесителя соединены с входным и выходным копланарными отрезками соответственно. 3 ил.