Контактное устройство СВЧ-диапазона Советский патент 1992 года по МПК H01R13/646 H01R9/00 

Изобретение относится к микроэлектронике СВЧ. в частности к измерительным устройствам для контроля СВЧ-параметров микроэлектронных устройств, в которых контактное устройство является одним из основных узлов измерительных установок для контроля СВЧ-параметров бескорпусных транзисторов и интегральных схем. Параметры контактных устройств во многом определяют возможности измерительной установки.

Известна конструкция контактного устройства, выбранная в качестве прототипа, содержащая копланарную линию, нанесенную на керамическую подложку .С целью снижения индуктивности земляного проводника обратная сторона керамической подложки металлизирована и соединена тонкими сквозными металлизированными отверстиями с основной земляной линией. Hia пpofивoпoлoжнoм от испытуемого кристалла конце керамической подложки копланарная линия переходит в стандартный коаксиальный разъем. Взаимное расположение концов сигнальной и земляной линий фиксировано на одной прямой.

Недостатком этой конструкции является низкая механическая прочность керамической подложки, плохой отвод тепла через контактную площадку, что приводит к перегреву испытуемого устройства и его повреждению, а это не обеспечивает высокой надежности устройства.

Целью изобретения является повышение надежности за счёт улучшения теплоотвода и повышения механической прочности контактного устройства.

Указанная цепь достигается тем. что в контактном устройстве сигнальные проводники выполнены в виде внутренних проводников коаксиальных неоднородных линий, заканчивающихся цангами, в которых фиксированы с уменьшающимися сечениями зонды, расположенные под острым углом к испытуемому кристаллу, земляные контактные площадки которого контактируют с заземляющей пластиной, зажатой двумя частями токопроводящего корпуса. Сопоставительный анализ с прототипом показывает, что пр.едлагаемое контактное устройство отличается тем, что сигнальные проводники выполнены в виде внутренних проводников коаксиальных неоднородных линий, заканчивающихся цангами, в которых фиксированы с уменьшающимися сечениями зонды, расположенные под острым углом к испытуемому кристаллу, который контактирует с заземляющей пластиной, зажатой двумя частями токопроводящего корпуса.

Предлагаемое контактное устройство, отличается тем, что зонды с уменьшающимися сечениями фиксированы цангами, которыми заканчиваются внутренние проводники неоднородных коаксиальных линий. Такая конструкция позволяет не только крепить сигнальный зонд, но и регулировать его длину, а также позволяет заменять зонды-ПО мере износа. Наличие заземляющей пластины, соединяющей земляные контакты кристалла, обеспечивает улучшение теплоотвода и повышение механической прочности устройства.

На чертеже представлено схематически контактное устройство.

Контактное устройство состоит из двух неоднородных коаксиальных линий 1 передачи, внутренние проводники которых заканчиваются цангами 2, в которые вставлены зонды 3, контактирующие с сигнальными площадками кристалла, земляные контактные площадки кристалла соединяются заземляющей пластиной 4;зажатой между двумя половинками корпуса 5 контактного устройства. Надежное контактирование сигнальных контактных площадок и земляных площадок кристалла соответственно с зондами и заземляющей пластиной обеспечивается упругостью зондов и заземляющей пластины.

- .-

Контактное устройство (КУ) работает следующим образом.

Взаимное расположение зондов контактного устройства и контактных площадок кристалла контролируется микроскопом через отверстие в корпусе КУ, который на череже не показан. При совмещении зондов и контактных площадок кристалл поднимается вверх до касания КУ, при атом зонды 3 и аземляющая пластина 4 обеспечивают не

олько надежный электрический контакт, но и отводят от транзистора часть выделяющейся тепловой энергии. Таким образом обеспечивается повышение надежности и механической прочности устройства.

Предлагаемое контактное устройство реализовано следующим образом. Корпус КУ выполнен из латуни, две коаксиальные ступенчатые неоднородные линии передачи расположены под острым углом к испытуемому кристаллу, концы внутренних проводников выполнены в виде цанг, в которые вставлены зонды, выполненные так же, как и заземляющая пластина, из берйллиевой бронзы Бр 52,

Таким образом, предложенная конструкция контактного устройства позволяет обеспечить лучший теплоотвод от кристалла. Бериллиевая бронза, из которой выполнены контактирующие с кристаллом

элементы КУ, позволяет отводить до 1520% тепла, выделяющегося в испытуемом кристалле, что предотвращает выход его из строя при испытаниях. Применение в качестве земляного проводника пластины резко

снижает его индуктивность.

Использование проволочных зондов небольшой длины, вставленных в цанги, позволяет при сборке контактного устройства расположить все его контакты строго в одной плоскости.

Формула изобретения

Контактное устройство СВЧ-диапазона,

содержащее токопроводящий корпус, СВЧлинии передачи с зондами, установленными под острым углом к плоскости контактирования, и заземляющие проводники, отличаю щ е е с я тем, что, с целью повыЩения

надежности за счет улучшения теплоотвода и механической прочности, заземляющие проводники выполнены в виде пластины, закрепленной в корпусе, а СВЧ-линии передачи выполнены в виде неоднородных коаксиальных линий с постоянным волновым сопротивлением, на концах внутренних проводников которых установлены цанги с зондами, при этом зонды выполнены в виде стержней с уменьшающимся поперечным

сечением.

Изобретение относится к микроэлектронике СВЧ. Целью изобретения является повышение надежности за счет улучшения теплоотвода и повышения механической прочности. Устройство содержит заземляющую пластину 4. закрепленную в корпусе 5 и неоднородные коаксиальные линии 1 передачи с постоянным волновым сопротивлением. На внутренних проводниках линий 1 выполнены цанги 2. в которых установлены зонды 3 в виде стержней с уменьшающимся поперечным сечением. Коаксиальные линии 1 передачи и пластина 4 обеспечивают высокую прочность устройства и хороший отвод тепла от испытуемого кристалла. 1 ил.