Устройство для совмещения и фиксации металлической маски с подложкой Советский патент 1993 года по МПК H05K3/14 

Изобретение относится к технологическому оборудованию микроэлектронной промышленности и может быть использовано при изготовлении многокристалльных модулей на БИС.

Целью изобретения является повышение технологичности изготовления,

Изобретение поясняется чертежом, на котором представлен общий вид устройства, где 1 - микроскоп, 2 - прозрачный держатель маски, 3 - направляющие 4 держателя маски, 4 - микровинт, 5 - верх-1 ний постоянный магнит, 6 - металлическая маска, 7 - подложка, 8 - держатель подлож- ки, 9 - направляющие неметаллического но- сителя маски, 10 - нижний постоянный магнит, 11 - неметаллический носитель маг-1 нита, 12 - ручка, 13 - плита, 14 - основание устройства, 15 - пластина.

Устройство работает следующим образом: на направляющие 9, запрессованные в основание держателя подложки 8, устанавливается носитель 11 из немагнитного мате риала, с закрепленным по торцам постоянным магнитом 10. На стойки держателя подложки 8 устанавливается подложка 7. Металлическая маска 6 крепится к прозрачному держателю маски 2 магнитом 5, Держатель маски устанавливается на направляющие 3 и регулируется по высоте микровинтом 4.

После совмещения, в плане, по репер- ным знакам металлической маски и подложки с помощью микроскопа 1 и манипулятора совмещения, осуществляется подъем магнита 10 на подвижном носителе за ручки 12 до полного совмещения магнита с подложкой и маской. Далее снимается магнит 5 и держатель 2 с направляющих 3.

Подвижный носитель с магнитом, подложкой и маской передается за ручки на. следующие операции или на межоперационное хранение.

Пример конкретного выполнения.

Устройство для совмещения и фиксации металлической маски с подложкой выполнено для металлической маски 6 с размерами, мм 48 х 60 х 0,5 и алюминиевой подложки с полиимидной изоляцией 7 с размерами, мм

48 X 60 X 1,0..;,-:.

Устройство состоит из микроскопа 1 с системой освещения, манипулятора совмещения, соединенного с подвижной плитой 13. имеющей отеерстие$67 мм, в котором и размещена механическая часть устройства

совмещения. На плите расположена металлическая пластина 15 со штифтовыми направляющими 3, по которым в осевом направлении перемещается держатель маски 2, с расположенным на нем постоянным Магнитом 5 с размерами, мм 48 х 60 х 5.5, удерживающим под прозрачной пластиной из оргстекла, толщиной 1,5 мм, металлическую маску 6. На основании устройства 14

установлен держатель подложки 8 со штифтовыми направляющими 9, на которые установлен носитель 11с постоянным магнитом 10, Носитель магнита ограничивает доступ к совмещенным маске, подложке, магниту, м

за ручки 12 позволяет их перемещать в любом другом направлении.

Таким образо м, устройство для совмещения и фиксации металлической маски с подложкой, по сравнению с прототипом, использует технологичные детали в своей конструкции, которая позволяет сохранять, совмещенные металлическую маску с подложкой, не использует специальные постоянные магниты и вакуумную систему, что в

совокупности существенно повышает технологичность изготовления при обеспечении совмещения и фиксации металлической о маски, подложки на постоянном магните, закрепленном на немагнитном носителе

для перемещения.

Формула изобретения Устройство для совмещения и фиксации металлической маски с подложкой, содержащее основание с направляющими в виде стержней, держатель маски с постоянным магнитом, держатель подложки, съемный постоянный магнит, установленный на основании под держателем подложки с возможностьюперемещения.- по направляющим основания в плоскости, перпендикулярной рабочей поверхности держателя подложки, микроскоп с системой освещения и манипулятор совмещения, о тличающееся тем, что, с целью упрощения конструкции и повышения технологичности ее изготовления, оно снабжено носителем съемного постоянного магнита с базирующими отверстиями, размещенными

с возможностью взаимодействия с направляющими основания, выполненным из немагнитного материала, основание снабжено стойками, а держатель подложки выполнен в виде гнезда, образованного пазами, выполненными в стойках основания.

Изобретение относится к технологическому оборудованию микроэлектронной промышленности и может быть использовано при изготовлении монокристалльных мо- дулей на БИС. Цель изобретения - упрощение конструкции и повышение технологичности ее изготовления. Устройство содержит основание 14 со стойками, микроскоп 1с системой освещения, манипулятор совмещения, прозрачный держатель 8 подложки, выполненный в виде пазов стрек ос- нования, в котором установлены направляющие 9 для осевого перемещения съемного постоянного магнита 10, закрепленного на носителе 11с базирующими отверстиями, выполненном из немагнитного материала. 1 ил,