Электростатический акселерометр Советский патент 1993 года по МПК G01P15/12 

Акселерометр работает следующим образом.

При действии вдоль оси чувствительности измеряемого ускорения подвижная пластина 4 упругого элемента 2 отклоняется в сторону, противоположную направлению ускорения. Подвижная пластина 4 и обкладки на стеклянных пластинах 1 образуют дифференциальный конденсатор, изменение емкости которого преобразуется в электрический сигнал и усиливается. Кроме того, эти же элементы образуют обратный электростатический преобразователь. Напряжение, пропорциональное измеряемому ускорению, подается на Обкладки стеклянных пластин 1, создавая тем самым усилие, стремящееся вернуть подвижную пластину 4 в нейтральное положение. Выходной сигнал акселерометра пропорционален разности действующих на подвижную пластину 4 усилий от измеряемого ускорения и обратного электростатического преобразователя. При соединении стеклянных пластин 1с упругим элементом 2 контактные напряжения, возникающие на опорном элементе 3 не передаются упругим перемычкам 5 благодаря пазам б на опорном элементе 3. Утонения 7, толщина которых равна толщине упругих перемычек 5, исключают концентраторы напряжений на упругих перемычках 5 в местах

0

их соединения с опорным элементом 3 и подвижной пластиной 4, т.к. они соединены с последними по всей длине стороны через утонения 7..

Электростатический акселерометр позволяет повысить точность измерения и надежность за счет уменьшения механических напряжений на упругих перемычках. Формула изобретения Электростатический акселерометр, содержащий две стеклянные пластины с напы- ленными на них обкладками и токоподводами к ним, упругий элемент из кремния, расположенный между стеклянными пластинами, состоящий из опорного элемента и соединенной с ним упругими перемычками подвижной пластины, о т л и- ч а ю щ и и с я тем, что, с целью повышения точности и надежности за счет уменьшения механических напряжений на упругих перемычках, на верхней и нижней сторонах опорного элемента в местах соединения с ним упругих перемычек выполнены пазы, а вдоль боковой грани подвижной пластины и 5 вдоль внутренней боковой грани опорного элемента, с которыми соединяются упругие перемычки, выполнены утонения, расположенные в одной плоскости с упругими перемычками и имеющие одинаковую с ними толщину. .

5

0

0