СПОСОБ ТРЕНИРОВКИ ЭЛЕКТРОВАКУУМНЫХ ПРИБОРОВ ТЛЕЮЩЕГО РАЗРЯДА Советский патент 1966 года по МПК H01J9/44 H01J61/64 

Технологический процесс изготовления высокостабильных приборов тлеющего разряда предусматривает обработку (тренировку) арматуры прибора в тлеющем разряде при низких давлениях (порядка 1,5-3 мм рт. ст.) инертного газа па откачпом тренировочном посту.

В процессе тренировки межхту специальным дополнительным электродом, служащим только для тренировки лампы и выполняющим роль апода, и рабочими электродами, имеющими отрицательный потенциал и служащими катодом, создается аномальный тлеющий разряд. При возникиовеиии разряда электроды с отрицательным потенциалом распыляются под действием иопной бомбардировки, и распыляющиеся частпцы осаждаются па колбе прибора.

Получив плотный слой налета металла па колбе, производят частую замену инертного газа, вызванную тем, что во время тренировки из электродов лампы выделяются различные примеси других газов (кислорода, азота и т. д.), которые загрязняют основной инертный газ.

пользовать плазму, образуемую па откачном посту трелющим разрядом между двумя электродами под действием переменного напряжения.

На чертеже показана схема устройства для тренировки электровакуумных приборов тлеющего разряда по предложенному способу.

Плазменный насос / представляет собой два титаповых цилиндра 2 и 3; 4 - арматура и 5 - щтенгели тренируемых электровакуумных приборов. Трубка 6 ведет к откачному посту.

В гребенку пускают инертный газ малого

давления. На титановые цилиндры 2 и 3 подают переменное напряжение U (частота 50 гц. Титановые цилиндры образуют разрядный промежуток /. Под действием иоппой бомбардировки титан распыляется. При подаче на арматуру вакуумиого прибора отрицательного потенциала Uтр относительно титановых цилиндров в пространстве «титановый цилиндр-щтенгель 5 - арматура 4 возникает тлеющий разряд (разрядный промежуток //).

Анодом служит плазма, образованная разрядом между цилиндрами, а катодом - арматура 4, которую обрабатывает бомбардировка ионами, сформированными в разрядном промежутке //. Газы, выделяющиеся под деистприбора, непрерывно поглощаются плазменным титановым насосом. В результате загрязнений инертного газа не происходит и тренировку на посту можно успешно осуществлять без смены газа.

Приборы, подвергнутые тренировке по предлагаемому способу, при котором электроды приборов все время обрабатываются в чистой инертной среде, обладают лучшими электрическими параметрами по сравнению с приборами, тренированными иными методами при прочих равных условиях. Отсутствие в электровакуумных приборах, откачиваемых по описанному способу, дополнительного электрода, упрощает их конструкцию. Длительность процесса тренировки значительно сокращается. Снижается расход инертного газа, используемого при тренировке.

Предмет изобретения

Способ тренировки электровакуумных приборов тлеющего разряда на откачном посту путем создания электрического разряда между рабочими электродами лампы и вспомогательным анодом, отличающийся тем, что, с целью сокращения времени тренировки, уменьшения расхода нанолняющего инертного газа и возможности упрощения конструкции прибора, в качестве указанного анода используют плазму, образуемую на откачном посту тлеющим разрядом между двумя электродами под действием переменного напряжения.

MU

-(У