СПОСОБ ОБЕЗГАЖИВАНИЯ ЭЛЕКТРОДОВ И АРМАТУРЫ ЭЛЕКТРОННЫХ И ИОННЫХ ПРИБОРОВ Советский патент 1969 года по МПК H01J9/39 

Известны способы обезгаживания алектродов и арматуры электронных и ионных приборов во время откачки с помощью плазмы тлеющего разряда.

Однако этими способами можно обезгаживать металлические детали, обезгаживание стеклянных оболочек производится за счет нагрева их под печью до 400-550°С.

Предложенный способ отличается от известных тем, что после напуска инертного газа до давления несколько тор обработку плазмой тлеющего разряда ведут при непрерывном понижении давления до величины, при которой прекращается горение разряда.

Предложенный способ позволяет очищать внутреннюю поверхность стеклянных оболочек приборов быстрее и качественнее, чем известные.

Сущность предложенного способа состоит в том, что прибор после напаивания на откачной пост и откачки до вакуума не хуже тор наиолняют инертным газом, например аргоном, при давлении несколько тор и зажигают в приборе электрический тлеющий разряд, причем во время обезгаживания давление газа снижается до величины, при которой прекращается горение разряда, чем достигается перемещение плазмы по внутренней поверхности оболочки прибора. Сила тока порядка 10-30 ма. При этом плазма взаимодействует с поверхностью стекла и вызывает ее обезгаживание. Механизм десорбци, повидимому, связан с образованием отрицательного заряда на поверхности стеклянных стенок из-за больщой подвижности электронов и бомбардировки стенок положительными ионами.

Десорбированные с поверхности стекла и арматуры активные газы загрязняют наполняющий газ. Поэтому ее обрабатывают при неоднократной смене газа. Продолжительность обезгаживан1 я 7-10 мин (по обычной технологии- 1 час).

Чтобы внедренные в стекло атомы инертного газа не изменяли значительно рабочее газовое наполнение лампы, целесообразно обработку производить в газе, который является составной частью рабочей газовой смеси,

предпочтительнее в самом тяжелом, так как в этом случае эффект обезгаживания наибольщий.

Возможны многочисленН1)1е варианты данного способа, напрпмер обезгаживание стекла

без смены газа с использованием для очистки наполняющего газа сорбционного насоса, вмонтированного в вакуумную систему откачного поста. 3 дает надобность в печи для обсзгажнванил стекла. Предмет изобретения Способ обезгаживания электродов и арматуры электронных и понных приборов с помощью плазмы тлеющего разряда во время 2 34Й27 4 откачки прибора, отличающийся тем, что, С целью снижения времени обезгаживания и повышения качества очистки внутренней поверхности стеклянной оболочки прибора, после на5 пуска инертного газа до давления несколько тор производят обработку плазмой тлеющего разряда при непрерывном снижении давления до величины, при которой прекращается, горение разряда.