Способ стабилизации несамостоятельного тлеющего разряда высокого давления Советский патент 1993 года по МПК H05H1/00 H01S3/22 

Способ относится к области квантовой электроники и может быть использовано при разработке мощных источников светового излучения для технологии.

Целью изобретения является повышение предельного энерговклада.

На чертеже изображена блок-схема устройства, реализующего способ.

Устройство содержит систему прокачки газа 1, формирующую поток газа через разрядное устройство 2, смеситель 3, баллон 4 с электроотрицательной примесью, металлические электроды, на котором показано приэлектродное пятно 6 и область усиленного поля 7, электронную пушку 8, источник питания 9.

Сущность способа заключается в том, чтобы в области усиленного поля (как правило это область вблизи пятна на электроде)

резко уменьшить проводимость среды за счет увеличения в области усиленного поля частоты прилипания к молекулам электро- орицательной примеси, при этом концентрация молекул должна быть достаточно малой, а именно, чтобы примесь не влияла бы на параметры разряда в большей части объема промежутка. Подбирая род газа и его парциальное давление, можно управлять развитием шнуров, и повысить предельный энерговклад.

Устройство работает следующим образом. Электронный пучок, сформированный в электронной пушке 8 поступает в разрядное устройство и ионизует поток газа, в который подмешивается электроотрицательная примесь. При подаче на электроды 5 напряжения от источника питания 9 зажигается разряд. При этом на поверхности электродов обраОС

N (А

О

зуются пятна 6, в которые стягивается ток из плазмы положительного столба разряда. Подбирая род и парциальное давление примеси добиваются повышения энерговклада. Формула изобретения Способ стабилизации несамостоятельного тлеющего разряда высокого давления, включающий подачу рабочего газа с электроотрицательной молекулярной примесью в газоразрядное устройство между двумя металлическими электродами, создание плазмы в разрядном промежутке при помощи внешнего источника ионизации, подключение электродов к источнику напряжения и увеличение средней по разрядному промежутку величины напряженности электрического поля до значения Е0. соответствующего оптимальным условиям возбуждения колебаний молекул рабочего газа, отличающийся тем. что относительное содержание электроотрицательной примеси в рабочем газе выбирают в диапазоне , при этом в качестве примеси используют такое вещество, при добавлении которого в рабочий газ частота прилипания электронов к молекулам примеси для уровня напряженности поля Е0 не превышает 0.2 частоты ионизации газа внешним источником, а для уровня напряженности (2-10) FO частота прилипания составляет 0.51,0 частоты ионизации газа внешним источником.

Использование: возбуждение больших объемов активных сред электроионизационных устройств. Сущность изобретения: для увеличения удельного энерговклада за счет ограничения развития неустойчивости плазмы несамостоятельного тлеющего разряда в рабочий газ добавляют электроотрицательную молекулярную примесь с относительным содержанием от 10 до 10 . В качестве примеси выбирают вещество, добавление которого к рабочему газу приводит к уменьшению частоты прилипания электронов к молекулам примеси с увеличением напряженности электрического поля между электродами газоразрядного устройства. 1 ил. i

/ / учз/е. / элеклърояов

V