Способ записи интерферограмм объектов в виде линз и объективов Советский патент 1993 года по МПК G01B9/25 G01M11/02 

Изобретение относится к измерительной технике, предназначено для контроля волновых аберраций положительных линз и объективов и может найти применение в производстве, занятом их изготовлением.

Цель изобретения - повышение чувствительности контроля

На чертеже изображена схема устройства, реализующего изобретение. Устройство содержит когерентный источник 1, линзы 2. 3, матовое стекло 4 с механизмом его перемещения 5, узел крепления контролируемого объекта 6 с его механизмом его перемещения, фотопластинку 8.

Изобретение осуществляется следующим образом. Когерентный пучок излучения от источника 1 с помощью линз 2, 3 трансформируется в сходящуюся сферическую волну освещения матового стекла 4 с радиусом кривизны в его плоскости R - -Ii2/(h+l2), гдеИ, 12-соответственно расстояния от главной плоскости контролируемой линзы в узле крепления 6 до матового стекла 4 и фотопластинки 8, в плоскости которой строится изображе ние матового стекла 4

00

ю

4 СП

со

На фотопластинке 8 проводится запись спеклограммы за время первой экспозиции. Перед второй экспозицией с помощью механизмов перемещения 5, 7 смещают в одном направлении перпендикулярно оптической оси матовое стекло 4 и узел крепления контролируемого объекта 6 согласно соотношению b ali/f, где а --величина смещения узла крепления контролируемого объекта б, с фокусным расстоянием f, b - величина смещения матового стекла 4. Причем a(f+ 1 ) в/2, где D - диаметр

зрачка контролируемого объекта. Записанную таким образом двухэкспозиционную спеклограмму освещают плоской когерентной волной и регистрируют интерферограм- му контроля волновых аберраций в дальней зоне дифракции при проведении пространственной фильтрации, например, в фокальной плоскости объектива с малой апертурной диафрагмой. Если центр апертурной диафрагмы совпадает с оптической осью, то отфильтровывается интерферограмма бокового сдвига в полосах бесконечной ширины, характеризующая основные волновые аберрации контролируемой линзы. Смещение центра апертурной диафрагмы по направлению оси перемещения матового стекла 4 и узла крепления контролируемого объекта 6 позволяет отфильтровывать интерференционную картину, характеризующую сочета0

5

0

5

0

ние осевых и внеосевых волновых, аберраций.

Формула изобретения Способ записи интерферограмм объектов в виде линз и объективов, включающий освещение диффузного рассеивателя когерентным излучением, формирование в плоскости светочувствительной среды с помощью контролируемого объекта с заданным значением f фокусного расстояния изо; бражения рассеивателя. запись на светочувствительной среде спеклограммы изображения рассеивателя, повторную запись спеклограммы после смещения контролируемого объекта в его главной плоскости, освещение двукратно экспонированной спеклограммы когерентной волной и регистрацию интерферограммы контроля в дальней зоне дифракции при проведении пространственной фильтрации, отличающийся тем, что, с целью увеличения чувствительности контроля, диффузный рассеиватель освещают сферической волной с радиусом кривизны в его плоскости R Ii2/(h+l2), где h, h соответственно расстояния от главной плоскости контролируемого объекта до рассеивателя и светочувствительной среды, а перед повторной записью спеклограммы дополнительно смещают рассеиватель в направлении смещения контролируемого объекта на величину, удовлетворяющую соотношению b ah/f, где а величина смещения контролируемого объекта.

Изобретение относится к измерительной технике, предназначено для контроля волновых аберраций положительных линз и объективов и может найти применение в производстве, занятом их изготовлением. Сущность: освещают диффузный рассеива- тель когерентным излучением, формируют в плоскости светочувствительной среды с помощью контролируемого обьекта с заданным значением f фокусного расстояния изображение рассеивателя, записывают на светочувствительной среде спеклограммы изображения рассеивателя, осуществляют повторную запись спеклограммы после смещения контролируемого обьекта в его главной плоскости, освещают двукратно экспонированную спеклограмму когерентной волной и регистрируют интерферограм- му контроля в дальней зоне дифракции при проведении пространственной фильтрации, причем диффузный рассеиватель освещают сходящейся сферической волной с радиусом кривизны в его плоскости R Ii2/(h+l2). где И, 12 - соответственно расстояния OTL главной плоскости контролируемого объекта до рассеивателя и светочувствительной среды, а перед повторной записью спеклограммы дополнительно смещают рассеиватель в направлении смещения контролируемого обьекта на величину, удовлетворяющую соотношению b , где а - величина смещения контролируемого обьекта 1 ил. (Л С

8

I,