Устройство для гидромеханической отмывки и центробежной сушки пластин Советский патент 1993 года по МПК B08B3/10 B08B1/00 

ровке, Одновременно с повышением качества обработки повышение производитель- ности устройства при обеспечении компактности его конструкции.

Предлагается устройство для гидромеханической отмывки и центробежной сушки пластин, содержащее центрифугу с приводом вращения и столиком, узел подачи моющей жидкости и щетку с приводами ее перемещения, блок размещения обрабатываемых пластин на рабочей позиции, выполненным в виде установленного на столике перпендикулярно плоскости его вращения кольца и размещенных на его внутренней поверхности усеченных неправильных шестигранных пирамид, в каждой из которых основания выполнены параллельными плоскости столика, три боковые грани обращены к внутренней поверхности кольца и выполнены под прямым углом к основанию, а противолежащая упомянутым боковая грань обращена к центру столика, выполнена наклонной под острым углом к основанию и имеет гнездо для размещения пластины.

Повышение технических результатов данное изобретение обеспечивает за счет того, что устройство снабжено блоком для размещения обрабатываемых пластин на рабочей позиции, выполненным в виде установленного на столике перпендикулярно плоскости его вращения кольца и размещенных на его внутренней поверхности усе- ченных неправильных шестигранных пирамид, в каждой из которых основания выполнены параллельными плоскости столика, три боковые грани обращены к внутренней поверхности кольца и выполнены под прямым углом к основанию, а противолежащая упомянутым боковая грань обращены к центру столика, выполнена наклонной под острым углом к основанию и имеет гнездо для размещения пластин.

На фиг.1 изображено устройство для гидромеханической отмывки и центробежной сушки пластин, общий вид (в разрезе); на фиг.2 - общий вид устройства для гидромеханической отмывки и центробежной сушки пластин в аксонометрии; на фиг.З - сечение блока для обрабатываемых пластин; на фиг.4 - держатель пластин (аксонометрия); на фиг.5 и 6 - разновидности выполнения держателей пластин.

Предлагаемое устройство содержит {см.фиг.1, 2) центрифугу 1 с приводом 2 вращения и столиком 3, узел 4 подачи моющей жидкости, щетку 5 с приводом 6 вращения вокруг собственной оси и приводом 1 возвратно-поступательного перемещения.

блок 8 размещения обрабатываемых пластин 9 на рабочей позиции.

Блок 8 выполнен в виде кольца 10, установленного на столике 3 перпендикулярно

плоскости его вращения и закрепленных на внутренней его поверхности держателя 11 пластин 9, выполненных в виде усеченных неправильных шестигранных пирамид (см.фиг.2, 3).

В каждой усеченной пирамиде (см.фиг.З) основания 12 и 13 выполнены в виде неправильных шестиугольников, параллельных плоскости столика 3; три боковые грани 14, 15 и 16 пирамиды выполнены

5 под прямым углом к основанию 12 и обращены к внутренней поверхности кольца 10. а противолежащая этим граням боковая грань 17 выполнена наклонной под острым углом ft (см.фиг.З), основанию 12, обраще0 на к центру столика 3 и имеет гнезд 18 для размещения пластины 9 (см.фиг.З); при этом ребра 19, образованные пересечением оснований и смежных боковых граней 20 рядом расположенных пирамид, выполнены в

5

виде отрезков радиусов1 проведенных из

центра столика 3 к точкам его окружности. Другие варианты выполнения конфигурации держателя показаны на чертежах - фиг.4, 5. Отличие вариантов форм держатеР лей состоит в выполнении той поверхности усеченной неправильной пирамиды, которая обращена к внешней поверхности кольца. Эта поверхность может быть выполнена в виде совокупности любого числа граней

5 (см.фиг.4), причем поверхность этой совокупности граней стремится принять форму части цилиндрической поверхности (см.фиг.5).

Работа предлагаемого устройства осу0 ществляется следующим образом.

Пластины 9 загружают в блок 8 (см.фиг.1, 2). При этом каждая пластина 9 устанавливается в гнезде 18 (см.фиг.З, 4) держателя 11 в наклонном положении

5 (см.фиг.З). На щетинки щетки 5 подают дозу моющего средства (дозатор не показан). Включают привод 2 вращения центрифуги. Затем включают привод 6 вращения щетки 5 и приводят ее в рабочее положение, для

0 чего с помощью привода 7 перемещают щетку 5 в такое положение, чтобы ее щетинки касались пластины 9.

При этом вращается столик 3, приводя в движение блок 8 с размещенными в нем (в

5 гнездах 18 держателей 11) пластинами 9 (см.фиг.1, 2). Совершая вращение по кругу, блок 8 позволяет вращающейся вокруг собственной оси щетке 5 взаимодействовать поочередно с каждой пластиной, что обеспечивает равномерную очистку каждой пластины. Затем отводят щетку 5 от пластин и через узел 4 подают деионизованную воду, осуществляя отмывку пластин.

Наклон /3 (см.фиг.3) боковой грани 17 держателя 11с расположенным в ней гнез- дом обеспечивает соблюдение необходимого для качественной отмывки принцип бесконечного разбавления, при котором чистая вода не смешивается с загрязненной. Капли воды, стекая с пластины, уносят загрязнения. При этом пластины непрерывно омываются свежей, чистой водой, а загрязненная вода стекает вниз и через канал 21 удаляется из зоны обработки пластин.

По истечении времени отмывки отклю- чают подачу моющей жидкости и осуществляют операцию центробежной сушки пластин при включенном приводе 2 центрифуги 1.

В процессе сушки воздух в рабочем объ- еме движется по спирали, захватывая слетающие под воздействием центробежных сил капли жидкости с пластин. Поскольку имеется отдельный отсос пылинок (не показан), предотвращается их налипание на осушае- мые пластины. По окончании времени сушки привод 2 центрифуги 1 выключают и пластины 9 из держателей 11 выгружают в кассеты (не показаны). Затем осуществляют загрузку следующей партии пластин и про- цесе повторяется.

Преимуществами предлагаемого устройства для гидромеханической отмывки и центробежной сушки пластин являются следующие.

Повышено качество обработки пластин, обеспечиваемое конструктивным выполнением устройства, позволившего осуществ. 5 10

15

0 5 0

5

лять гидромеханическую отмывку и центробежную сушку пластин в одном рабочем объеме. При этом уменьшается число технологических операций, а также затраты времени на транспортировку пластин между ойерациями, что позволяет повысить выход годных за счет устранения повреждений при транспортировке и сделать оборудование компактным. Одновременно с повышением качества обработки предлагаемая конструкция обеспечивает повышение производительности устройства за счет увеличения в 14 раз числа одновременно обрабатываемых пластин. Наличие этих преимуществ говорит о высокой эффективности предлагаемого устройства. Формула изобретения Устройство для гидромеханической отмывки и центробежной сушки пластин, содержащее центрифугу с приводом вращения и столиком, узел подачи моющей жидкости и щетку с приводами ее перемещения, отличающее с,я тем, что оно снабжено блоком размещения обрабатываемых пластин на рабочей позиции, выполненным в виде установленного на столике перпендикулярно плоскости его вращения кольца и размещенных на его внутренней поверхности усеченных неправильных шестигранных пирамид, в каждой из которых основания выполнены параллельными плоскости столика, три боковые грани обращены к внутренней поверхности кольца и выполнены под прямым углом к основанию, а противолежащая упомянутым боковая грань обращена к центру столика, выполнена наклонной под острым углом к основанию и имеет гнездо для размещения пластины.

Использование: в микроэлектронике, в частности к устройствах для очистки и отмывки пластин. Сущность изобретения: устройство содержит центрифугу с приводом вращения и столиком, узел подачи моющей жидкости, щетку с приводом вращения вокруг собственной оси и приводом возвратно- поступательного перемещения, блок размещения пластин на рабочей позиции. Блок размещения обрабатываемых пластин выполнен в виде установленного на столике перпендикулярно плоскости его вращения кольца и на его внутренней поверхности усеченных неправильных шестигранных пирамид. Основания каждой пирамиды выполнены параллельно плоскости столика, три боковые грани обращены к внутренней поверхности и выполнены под прямым углом к основанию, а противолежащая упомянутая грань обращена к центру столика, выполнена наклонной под острым углом к основанию и имеет гнездо для размещения пластин. 6 ил. тройства. При этом в данном изобретении должно быть обеспечено достижение следующих технических результатов. Обеспечение возможности осуществлять гидромеханическую отмывку и центробежную сушку пластин в одном рабочем объеме. Уменьшение числа технологических операций, а также затрат времени на транспортировку пластин между операциями. Повышение процента выхода годных за счет устранения повреждений при транспортисо с 00 со N VI ю со

777,

8

Фиг. Z

9

ргпф

6UfrE8l

Фиг.б