Генератор колебаний потока жидкости Советский патент 1993 года по МПК F15B21/12 

Изобретение относится к машиностроению и может быть использовано для создания пульсирующего потока жидкости в устройствах для высококачественной очистки от жировых и механических загрязнений поверхностей деталей, например, пластин кремния в полупроводниковой промышленности или подложек поликоровых плат в производстве изделий микроэлектронной техники.

Целью предлагаемого изобретения является сохранение частоты потока жидкости за счет исключения подвижных взаимодействующих элементов конструкции, т.е. исключение вероятности внесения в промывочную жидкость загрязнений при упрощении конструкции генератора колебаний.

На фиг.1 изображен общий вид генератора; на фиг,2 - сечение А-А на фиг.1; на фиг.З - вид по стрелке Б на фиг.2.

Генератор состоит из следующих основных элементов: цилиндрического корпуса 1, в котором установлен упругий вибратор 2, .имеющий входное 3 и выходное 4 отверстия для жидкости; элементов регулирования частоты колебаний в виде плоской пружины 5, один конец которой закреплен на вибраторе 2, а другой - на поворотной оси 6, имеющей рычаг 7 (фиг.2), взаимодействующий с регулировочными винтами 8 и 9 (см.фиг.З), установленными с наружной стороны корпуса 1. Корпус закрыт крышками 10 и 11. Внутри корпуса установлен сегмент 12, который с рабочим концом вибратора образует дроссельный канал 13. Вибратор выполнен в ви00

ел о

4

СО

де коаксиально установленного в камере 1 полого цилиндра со сквозным пазом, выполненным вдоль образующей со стороны каналов и имеющим заостренные кромки, входящие в канал подачи жидкости.

Вибратор 2 с помощью утолщения 15 закреплен консольно, а свободная заостренная кромка 16 направлена навстречу по- даваемой жидкости из отверстия 4.

Генератор работает следующим образом.

При подаче жидкости через входное отверстие 3 в дроссельный канал 13 одна часть потока попадает в выходное отверстие 4, а другая завихряется в камере турбулизации 14. При этом, в результате поверхностных срывов жидкости у стенок камеры и взаимодействия прямого и завихренного потоков в дросселирующем канале 13 возникают высокочастотные колебания. Они вводят в колебательный процесс вибратор 2, возбуждая в нем низкочастотные колебания. Процесс входит в режим автоколебаний.

В конкретном устройстве при длине консольной части вибратора 70 мм, диаметре камеры 38 мм и давлении подаваемой воды 200 кГс/см2 получены регулируемые колебания потока с частотами 900-3000 Гц и амплитудой ± 15 кГс/см2.

0

5

0

5

0

В конструкции предложенного генератора колебаний потока жидкости нет движущихся взаимодействующих частей, что полностью исключает загрязнение жидкости продуктами износа. Это является важным положительным качеством особенно при использовании жидкости для промывки изделий в полупроводниковой промышленности и в производстве изделий микроэлектроники.

Формула изобретения Генератор колебаний потока жидкости, содержащий корпус с каналами подачи и отвода жидкости, камеру турбулизатора, консольно закрепленный упругий вибратор и регулятор частоты колебаний, отличающийся тем, что, с целью сохранения чистоты потока жидкости за счет исключения подвижных взаимодействующих элементов конструкции, вибратор выполнен в виде кааксиально установленного в камере полого цилиндра со сквозным пазом, выполненным вдоль образующей со стороны каналов и имеющим заостренные кромки, входящие в канал подачи жидкости, а регулятор частоты колебаний выполнен в виде плоской пружины, один конец которой закреплен на вибраторе, а другой - на поворотной оси, имеющей рычаг, установленный с возможностью взаимодействия с регулировочными винтами.

Использование: для создания пульсирующего потока жидкости в устр-вэх для высо- кокачественной очистки от жировых и механических загрязнений поверхностей деталей. Сущность изобретения: упругий вибратор выполнен в виде коаксиально установленного в камере турбулизатора полого цилиндра с сквозным пазом, выполненным вдоль образующей со стороны каналов подачи и отвода жидкости и имеющим заостренные кромки. Кромки входят в канал подачи жидкости. Регулятор частоты колебаний выполнен в виде плоской пружины, один конец к-рой закреплен на вибраторе, другой - на поворотной оси, имеющей рычаг, установленный с возможностью взаимодействия с регулировочными винтами. 3 ил.

X

Фие.1

Фиг. 2