УСТРОЙСТВО для ИЗГОТОВЛЕНИЯ ТОНКОПЛЕНОЧНЫХ Советский патент 1966 года по МПК C23C14/04 C23C14/26 

Известны устройства для изготовления тонкопленочных радиодеталей методом испарения, выполненные в виде многосекционной камеры с размещенными в секциях испарителями металла или диэлектрика с соответствующей маской, через которую производится напыление на подогреваемую подложку.

В предложенном устройстве проводящие или диэлектрические вещества наносятся на подложку в вакуумной камере через многощелевую маску от одновременно действующих автономных испарителей и относительно вращения маски с испарителями и подложки.

Это дает возможность получить моточные топкопленочпые радиодетали, например многообмоточные трансформаторы с ферромагнитными сердечниками, и повысить степень автоматизации процесса напыления.

На чертеже изображена конструкция устройства.

Вращающийся цилиндр / разделен перегородками 2 на секции 3, расположенные по образующей цилиндра. В секциях помещены испарители 4, а сверху цилиндра укреплена миогощелевая маска 5 так, что каждая щелъ 6 маски размещена против соответствующей секции цилиндра. Электропитание испарителей производится с помощью щеток 7 и коллектора 8, укренлешшьх на валу 9 цилиндра. Цилиндр вращается на валу с помощью конической пары шестерен 10 и 1J. Шестерня // связана с приводным электродвигателем 12 через вал 13.

Процесс напыления пленок состоит в том, что через щели вращающейся многощелевой маски на поверхность подогреваемой с помощью подогревателя 14 подложки 15 непрерывно осаждаются пары испаряемых веществ и образуют наслаивающиеся один на другой плоские витки многоплепочиого покрытия 16.

Предмет изобретения

1. Устройство для изготовления топкоплепочных радиодеталей методом испарения, выполненное в виде многосекционпой камеры с размещенными в секциях испарителями металла или диэлектрика с соответствующей маской, через которую производится напыление на подогреваемую подложку, отличающееся тем, что, с целью автоматизации процесса напыления и получения многообмоточных радиодеталей, например трансформаторов с ферромагнитными сердечниками, многосекционная камера выполнена в виде вращающегося цилиндра, секции которого образованы перегородками, расположенными по его образующей, и на одном из торцов цилиндра

укреплена многощелевая маска так, что каждая щель маски размещена против соответствующей секции цилиндра с расположенным в ней испарителем.

2. Устройство по п. I, отличающееся тем, что электропитание испарителей подведено при помощи щеток и контактных колец, укрепленных на валу упомянутого цилиндра.

/4

15

10