УСТРОЙСТВО для НАПЫЛЕНИЯ ПЛЕНОЧНЫХ МИКРОСХЕМ Советский патент 1970 года по МПК H05K3/14 

Изобретение относится к области радиотехники, в частности к конструкции устройств для напыления многослойных пленочных микросхем.

Известны многопозиционные устройства для напыления микросхем в вакууме, у которых на подвижных платформах установлены испарители маски-трафареты и подложки, разделенные экранирующей перегородкой.

В известных устройствах для наблюдения за работой испарителей используют прозрачные окна, которые в процессе напыления сильно загрязняются.

С целью улучшения визуального наблюдения за работой каждого из испарителей в предлагаемом устройстве используется перекрывающий смотровые окна прозрачный цилиндр, поворачиваемый в процессе напыления при помощи биметаллического элемента.

На фиг. 1 изображен блок испарителей; на фиг. 2 - биметаллическая петля с вилкой; на фиг. 3 - приводной механизм.

Предлагаемое устройство работает следующим образом.

Каждый блок / испарителей изолирован ог соседних блоков перегородкой, верхняя часть которой выполнена в виде цилиндра 2, снабжекиого смотровым окном 3., перекрытым дистанционно управляемым цилиндром 4, изготовленным из прозрачного материала, обеспечивающим непрерывное визуальное наблюдение за работой каладого испарителя.

Механизм перемещения цилиндра содержит биметаллическую петлю 5, установленную на

стойке 6, которая сопрял ена с цилиндром при помощи поводка 7 ленточного тормоза 5, находящегося на кольце 9 и вилки W, которая охватывает поводок 7 биметаллической петли. Цилиндр установлен в кольце.

При пропускании электрического тока через петлю вилка перемещается и увлекает за собой поводок ленточного тормоза 8, поворачивающего кольцо с цилиндром. Ленточный тормоз 11 удерживает от обратного поворота

кольцо, которое он охватывает, при остывании петли 5.

При повороте горизонтальной оси 12 по часовой стрелке эксцентрик 13 поднимает вертикальную ось 14 и платформу 15, несущую подложки. При дальнейшем повороте горизонтальной оси фиксатор 16 эксцентрика, упираясь в конец вертикальной оси, прекращает ее дальнейщий подъем. Палец 17, упираясь з выступ 18 конической щестерни 19, поворачивает коническую шестерню 20 вертикальной оси, тем самым перемещая платформу 15, находящуюся над платформой 21 несущей маски-трафареты. При повороте горизонтальной оси против часовой стрелки эксцентрик, враMy 2}. При дальнейшем повороте торизонтальной оси палец, упираясь с обратной стороны в выступ, поворачивает шестерню 20 в обратном направлении, в результате чего платформа 21 сцепляется с платформой 15 и при перемещении может быть установлена над любым блоком испарителей. Для передачи диску 22 заслонок возвратно-поступательного движения используется свободный ход горизонтальной оси. При помоши фрикционного сцепления 23, поводка 24 и рычага 25 перемещается пустотелая вертикальная ось 26, жестко связанная с рычагом 25. Затем горизонтальная ось поворачивается барабаном 27, соединенным с горизонтальной осью и пальцем 28, входящим в прорезь 29 барабана. Механизм управляется одной рукояткой 30, выведенной за пределы рабочей камеры. Передача вращения горизонтальной оси ироизводится с помощью рычага 31. В качестве герметизирующего элемента использован сильфон 32, Предмет изобретения Устройство для напыления пленочных микросхем, содержащее вакуумную камеру с механизмом для подъема колпака камеры, приводной механизм, служащий для перемещения установленных на подвил ных платформах подложек и масок, экранирующую перегородку и установочную плиту, отличающееся тем, что, с целью улучшения визуального наблюдения за работой каждого из испарителей, верхняя часть экранирующей перегородки выполнена в виде цилиндра, снабженного смотровым окном, перекрытым цилиндром, изготовленным из прозрачного материала, и соединенным с приводом, содержащим два размещенных в пазах установочного кольца ленточных тормоза, на конце одного из которых укреплен поводок, входящий в вилку биметаллической петли, соединенной с источником тока, а второй ленточный тормоз охватывает установочное кольцо, препятствуя его повороту.