СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ МЕТАЛЛИЧЕСКИХ РИСУНКОВ Советский патент 1967 года по МПК C23C18/14 

Известен способ получения металлических рисунков сложной конфигурации на нодложках из диэлектрика осаждением из газовой фазы на предварительно нанесеппый рисунок из вещества-катализатора процесса восстановления осаждаемого металла.

Отличием описываемого способа является, то, что рисунок из вещества-катализатора наносят путем обработки основы смесью равных объемов: 8-ISVo-Horo раствора двойной хлористой соли палладия и калия и 16- 25 /о-ного раствора щавелевокислого окисного железа с последующим экспопированием через негатив, соответствующий рисунку заданной конфигурации, и обработкой нагретым до 60-70°С раствором хлористого калия с концентрацией 150 г/л.

Это дает возможность упростить процесс нанесения рисунка за счет исключения сложных операций напыления в вакууме или нанесения светочувствительных полимеров.

По описываемому способу очищенную поверхность основы из диэлектрика обрабатывают смесью указанного состава, после чего основу высушивают и облучают через негатив, соответствующий рисунку заданной конфигурации. На участках поверхности диэлектрика, подвергавшихся : облучению, под действием света окисная соль железа восстанавливается до закиспой.

При последующей обработке основы раствором проявителя (подкисленного до рН 1-3 щавелевой кислотой 20о/о-ного раствора хлористого калия) палладий восстанавливается до металла. После проявления изображения соли с зчастков, не подвергавшихся действию света, смывают водой. При осаждении металла из газовой фазы или из растворов восстановленный металл осаждается на рисунке из палладия.

Предмет изобретения

Способ получения металлических рисунков сложной конфигурации на основе из диэлектрика путем осаждения, например, из газовой фазы на предварительно нанесенный рисунок из вещества-катализатора процесса восстановления осаждаемого металла, отличающийся тем, что, с целью упрощения процесса, рисунок из вещества-катализатора наносят путем обработки основы смесью равных объемов: 8-150/о-ного раствора двойной хлористой соли палладия и калия и 16-25о/о-ного раствора щавелевокислого окисного железа, с последующим экспонированием через негатив, соответствующий рисунку заданной конфигу р-ации, и обработкой нагретым до 60-70°С раствором хлористого калия с концентрацией 150 г/л.