СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ РАЗБОРНОГО ВАКУУМНОГО СОЕДИНЕНИЯ МЕТАЛЛ — КЕРАМИКА Советский патент 1967 года по МПК H01J9/26 

Известен способ изготовлеиия разборного вакуумного соединения металл - керамика с использованием прокладки из металла. Однако при использовании этого способа требуются очень большие уплотняющие усилия для обеспечения вакуумного соединения.

Предложенный способ состоит в том, что на уплотняющую поверхность керамики наносится одним из известных способов слой металла, не взаимодействующего со ртутью. Коэффициент термического расширения металла не должен значительно отличаться от коэффициента термического расширения керамики. Затем поверхность металлического слоя подвергают полировке. Это позволяет в два раза снизить уплотняющие усилия.

Предложенный способ поясняется чертежом.

Керамическое кольцо / с нанесенными с двух сторон слоями 2 метал.та уплотняется с помощью проволочной прокладки 3 из неамальгамируемого металла (например, железа или никеля) металлическими фланцами 4, соединенными болтами 5.

Предмет изобретения

10

Способ изготовления разборного вакуумного соединения металл - керамика с использованием прокладки из металла, отличающийся тем, что, с целью снижения уплотняющего усиЛИЯ, необходимого для получения вакуумного соединения, на уплотняющую поверхность керамической детали наносят слой металла, поверхность которого затем полируют.