СПОСОБ КОНТРОЛЯ МАГНИТОСТРИКЦИИ ТОНКОЙ ФЕРРОМАГНИТНОЙ ПЛЕНКИ Советский патент 1967 года по МПК G01R33/18 G01D7/06 

Известен способ контроля магнитострикции тонких ферромагнитных пленок, состоящий в том, что над контролируемой пленкой создают магнитное поле с частотой 1 кгц, с помощью механизма деформации подвергают пленку периодическим знакопеременным напряжениям и по модуляции выходного сигнала судят о наличии магнитострикции пленки.

По этому способу можно определить лищь нулевое значение магнитострикции, поскольку отсутствует однозначная зависимость между коэффициентом магнитострнкции и выходным сигналом датчика из-за влияния процесса смещения стенок доменов.

По предложенному способу для осуществления контроля магнитострикции заданного значения и одновременного определения толщины пленки магнитное поле создают с помощью датчика, имеющего две взаимно перпендикулярные обмотки, питаемые токами высокой и разной частоты, и о магнитострикции судят по отклонению модуляции выходного сигнала, снимаемого с одной из обмоток датчика на суммарной частоте от , а для определения толщины с помощью интегрирующего устройства интегрируют модулированный выходной сигнал и по уровню проинтегрированного сигнала судят о толщине.

Создание двух взаимно перпендикулярных магнитных полей позволяет исключить влияпие смещения стенок доменов.

Предлагаемый способ магнитострнкции тонкой ферромагнитной пленки состоит в том, что в нроцессе напыления наныляемую на подложку пленку подвергают действию магнитного поля, создаваемого с помощью датчика с двумя взаимно перпендикулярными обмотками, нитаемымн токами высокой и разной частоты. При этом нанряжение coi нитает одну из обмоток датчика, а нанряжение с частотой 0)2 - другую обмотку датчнка, раснолсженную под углом 90° к первой обмотке.

Под действием высокочастотных полей обеих обмоток вектор намагниченностн пленки колеблется в плоскости пленки с очень малой амплитудой на частоте coi) coi + (02. С одной из обмоток датчика на суммарной частоте,

т. е. частоте соо, снимают выходной сигнал на регистрирующее устройство, например осциллограф. По отклопению модуляции выходного сигнала от судят о магнитострикции нленки, а но уровню проинтегрированного выходного сигнала судят о толщине пленки.

подложку пленку подвергают действию магнитного поля, создаваемого обмоткой датчика, и периодической знакоперемеппой деформации и снимают с обмотки датчика выходной сигнал на регистрируюп.1,ее устройство, например осциллограф, отличающийся тем, что, с целью осуществления контроля магнитострикции заданного значения и одновременного определения толщины пленки, магнитное поле создают с помощью датчика, имеющего две

взаимно перпендикулярные обмотки, питаемые токалми высокой и разной частоты, выходной сигнал снимают с одной из обмоток датчика па суммарной частоте и о магнитострикции судят по отклонению модуляции выходного сигнала от 100э/о, а для определения толщины с помощью интегрирующего устройства интегрируют модулированный выходной сигнал и по уровню проинтегрированного сигнала судят о толщине.