ИНТЕРФЕРОМЕТР ДЛЯ КОНТРОЛЯ КАЧЕСТВА ВОГНУТЫХ ОТРАЖАЮЩИХ ПОВЕРХНОСТЕЙ ВРАЩЕНИЯ Советский патент 1967 года по МПК G01B11/30 G01B9/02 

Известные интерферомет1ры для контроля качества вогнутых параболических поверхностей вращения, содержащие эталонную ветвь и рабочую ветвь с установленными в ней контролируемой деталью -и компенсатором, не позволяют контролировать параболические поверхности выпуклых линз, расширить диапазон контролируемых фокусных расстояний параболических поферхностей линз с плоской второй поверхностью или исключить -влияние их разнофокусности и контролировать линзы с асферической второй .поверхностью.

Интерферометр по настоящему изобретению отличается от известных тем, что в нем комленсатор установлен на оптическом контакте со второй поверхностью контролируеМОЙ детали и выполнен в виде линзы -с плоской поверхностью и коэффициентом преломления, равным коэффициенту преломления контролируемой детали, а 1сумма толщин компенсатора и контролируемой детали равна фокусному расстоянию отражающей поверхности. Отличием является также и то, что компенсатор может быть выполнен в виде составленной из двух «линьев плооконараллельной пластинки переменной толщины или кюветы с иммерсионной жидкостью.

Интерферометр содержит источник света 1, точечную диафрагму 2, объектив 5, коллиматора, полупрозрачное зеркало 4, эталонный объектив 5, плоское зеркало 6, донолнительную линзу 7, контролируемую линзу 8, объектив 9 для зрительной трубы и диафрагму 10. В рабочей ;ветви интерферометра на оптическом контакте со второй поверхностью контролируемой линзы 8 установлена дополнительная линза 7, плоская поверхность -которой совпадает с фокальной плоскостью отражающей параболической ловерхности, а показатели преломления линз 7 и S одинаковы. При этом толщина дополнительной линзы равна разности между фокусным расстоянием отражающей параболической поверхности и толщиной контролируемой линзы. На нлоской поверхности дополнительной линзы 7 нанесено зеркальное покрытие, размер которого

практически исключает центральное виньетирование. Такое устройство рабочей ветви интерферометра дает возможность осуществить ход лучей, лрн котором выпуклая параболическая поверхность работает как вогнутое

параболическое зеркало, фокусируя действительные лучи, падающие параллельным пучком на параболическую поверхность.

Получение интер1фербнционных полос принципиально невозможно, .поэтому определение очень малых логрешностей затруднено.

Описываемый интерферометр применим практически для любой формы второй .поверхности Параболической линзы 8 (а, б, в, г). При «онрроле серии одинаковых линз, например, выпукло-плоских (в), дополнительную линзу можно выполнить переменной толщины, в виде двух .подвижных клиньев, образующих ллоскопараллельную пластинку, с целью расширения диалазона фокусных расстояний отражающих лараболических поверхностей или исключения влияния их разнофокусности. Для контроля ЛИ.НЗ, вторая ловерхность которых является асферической, шлифованной или грубообработанной, последняя может быть установлена в кювете с иммерсионной жидкостью, показатель преломления которой равен показателю лреломления «онтролируемой линзы (г).

Предлагаемый способ принципиально нелрименим для контроля линз, толщина которых больше фо-кусного расстояния отражающей параболической ловерхности, .и наиболее удачен для .контроля линз, имеющих небольшое фокусное расстояние отражающей .параболической поверхности.

Применение современных источников света, например оптических «вантовых генераторов, лозволит контролиро.вать линзы, имеющие .практически неограниченное относительное отверстие отражающей лараболической поверхности, лри этом в рабочей ветви может быть установлено только одпо .плоское зержало. В зависимости от мощности применяемого источника света, параболическая .поверхность либо имеет зеркальное по-крытие, либо работает без него ка,к полированная отражающая поверхность.

Предмет изобретения

1.Интерферометр для контроля качества вогнутых отражающих поверхностей вращения, содер-жащий эталонную ветвь и рабочую ветвь с установленными в ней контролируемой деталью и |ком.пенсатором, отличающийся тем, что, с целью контроля лараболических ловерхностей выпуклых линз, ком.пенсатор установлен на оптическом жонтаКте оо второй поверхностью контролируемой детали и выполнен в виде линзы с плоской поверхностью и .Коэффициентом преломления, равным .коэффициенту преломления контролируемой детали, а сумма толщин ком.пенсатора и контроли/руемой детали равна фокусному расстоянию отражающей .поверхности.

2.Интерферометр .по .п. 1, отличающийся тем, что, с целью расширения диапазона контролируемых фокусных расстояний лараболических поверхностей линз с плоской второй поверхностью или исключения влияния их разнофокусности, компенсатор выполнен в виде состаВленной из двух КЛиньев ллоско.параллельной пластинки.

3.Интерферометр .по .п. 1, отличающийся тем, что, с Целью контроля линз с асферической .второй поверхностью, .комленсатор выполнен в виде кюветы с иммерсионной жидкостью.

-S

-7