СОРБЦИОННАЯ ВЫСОКОВАКУУМНАЯ ЛОВУШКА Советский патент 1967 года по МПК F04B37/02 

Известны сорбционные высоковакуумные ловушки, содержащие испаритель титана, напыляемого на охлаждаемый корпус ловушки. Однако такие ловушки не позволяют полностью улавливать пары масла без их крекинга из-за напыления титана на нагретые детали.

Предлагаемая ловушка отличается от известных тем, что внутренняя стенка ее корпуса выполнена с полыми ребрами, заполняемыми хладагентом и образующими оптически непрозрачную систему. Это позволяет удерживать все летучие продукты, поступающие из паромасляного насоса, и предотвратить образование углеводородов.

На чертеже представлена предлагаемая ловушка.

Она содержит корпус / из нержавеющей стали с двумя фланцами, охлаждаемый жидким азотом конденсатор 2 титана с ребрами -, испаритель 4 титана и токоподвод 5. Ловушка закрыта с двух концов жалюзи 6, также охлаждаемыми жидким азотом.

Пары, поступающие из насоса, конденсируются на поверхности ловушки, охлаждаемой жидким азотом. Пеконденсирующиеся газы (метан, водород, окись углерода, аргон и др.) поглощаются слоем титана, охлаждаемым жидким азотом. В ловушке с охлаждаемым титаном не будут образовываться углеводороды, что происходит в сорбционных насосах со

слоем геттера, работающим при комнатных и более высоких температурах. Часть газов, поступающих из откачиваемого объема, удерживается ловушкой, остальное откачивается паромасляным насосом. Прямой пролет молекул неконденсирующихся газов из насоса в откачиваемый объем предотвращается лсалюзи, целиком запыляемое титаном и охлаждаемое жидким азотом. Испаритель титана может

включаться периодически или работать непрерывно в зависимости от количества газов, поступающих в ловушку.

Предлагаемая ловушка позволяет получать с помощью паромасляных насосов или насосов типа «Руте сверхвысокий «чистый вакуум (при условии предварительного обезггживания стенок прогревом) без использования парортутных насосов, нежелательных изза токсичности .ртути, и других безмасляных

средств откачки. Кроме того, ловушка в соединении с паромасляным насосом дает возможность откачивать инертные газы (аргон, неон) без применения ионизаторов.

25

Предмет изобретения

тель титана, отличающаяся тем, что, с целью удержания всех летучих продуктов, поступающих из паромасляиого насоса, и Т1редотвращения образования углеводородов в ловушке.

внутренняя стенка ее корпуса выполнена с полыми ребрами, заполняемыми хладагентом и образующими онтически непрозрачную систему.

J-r-г К ч;- V |Ji2u/S-/cu SZo/ ., ч -. ..ГТ - 7- -г-J-.- -5 5 гЗ Жидкийазот

-- f-

т К откачиваемому I оЬъему