ВЫСОКОВАКУУМНЫЙ НАСОС ДЛЯ ОТКАЧКИ ГАЗОВ Советский патент 1964 года по МПК F04B37/08 F04F11/00 

Известны высоковакуумные насосы д,ля откачки газов, содержащие емкость с заключенными в ней сорбциониой поверхностью и ионизатором.

Предлагаемый насос отличается тем, что сорбционная поверхность выполнена в виде охлаждаемого жидким азотом или водородом и напыляемого геттером, например титаном, экрана, внутри которого помещена конденсирующая поверхность, охлаждаемая низкотемпературным хладоагентом, например гелием.

Такое выполнение насоса позволяет повысить предельный вакуум и увеличить скорость откачки газов.

На чертеже схематически изображен высоковакуумный насос в продольно;у{ разрезе.

Насос содержит шарообразный сосуд 1, который наполнен жидким гелием или водородом. В случае использования газообразного гелия или водорода на поверхность сосуда припаивают трубки 2, по которым циркулирует газообразиый хладоагеит.

Для уменьшения расхода гелия (водорода) сосуд окружен охлаждаемым жидким агентом экраном 3, на который испарителем 4 напыляется титан, испаряемый электронным лучом с магнитной фокусировкой.

происходит запыление металлом рабочих поверхностей сосуда /.

Для сокращения расхода гелия (водорода) на входе в насос помещен охлаждаемый азотом жалюзийный тепловой экран б а для уменьшения расхода азота экраном 3 установлены экраны 7.

С целью получения сверхвысокого вакуума предусмотрен прогрев насоса до 400-450°С нагревателями S. Ионизатор 9 откачивает из насоса гелий.

Насос, с целью получения больших скоростей откачки, может устанавливаться неносредственно в откачиваемый объем без корпуса 10, при этом тепловой экран 3 для большего доступа газа к рабочим поверхностям выполняется в виде жалюзи //.

Предмет изобретения

Высоковакуумный насос для откачки газ.а, содержащий емкость с заключенными в ней сорбционной поверхностью и ионизатором, отличающийся тем, что, с целью повышения предельного вакуума и увеличения скорости откачки, сорбционная поверхность выполнена в виде охлаждаемого жидким азотом или водородом и напыляемого геттером, например титаном, экрана, внутри которого помещена конденсирующая поверхность, ох