КОМБИНИРОВАННЫЙ МАГНИТОРАЗРЯДНЫЙ ГЕТТЕРНО-ИОННЫЙ НАСОС Советский патент 1973 года по МПК H01J41/12 

.1

Изобретение относится к вакуумной технике, в частности к устройствам безмасляной откачки разреженных газов.

Известный комбинировалный магниторазрядный геттерно-ионный насос, содержащий магниторазрядную ступень откачки, испаритель геттера и охлаждаемую сорбционную поверхность, роль которой играет корпус насоса, не обеспечивает высокой эффективности откачки из-за ограниченности сорбционной поверхности.

В предлагаемом устройстве повышение эффективности откачки достигается тем, что охлаждаемая сорбционная поверхность выполнена в виде двух профилированных цилиндров и размещена вокруг испарителя геттера внутри магниторазрядной ступени откачки.

На фиг. 1 схематически показан предлагаемый комбинированный магниторазрядный геттерно-ионный насос, в разрезе; на фиг. 2 - то же, вид с торца.

Магниторазрядный геттерно-ионный насос состоит из корпуса 1 с патрубком 2 для предварительной откачки, фланца 3 для герметичного присоединения к откачиваемому объему, карманов 4 для размещения магниторазрядных блоков 5, соединенных токоподводами 6, токовводов 7 для ввода электропитания к магнитроразрядны.м блокам 5, сорбционной поверхйости 8, имеющей ввод 9 и вывод 10 для хладагента, накального испарительного устройства геттера, состоящего из аиода //, испарителя J2 и эле1КТ|рО|Вводов 13 для электропитания элементов накального испарительного устройства, смонтированных на съемном

флан-це 14, магнитной системы, смонтированной с -наружной стороны кармаиов 4, с системой 15 охлаждения. Магнитная система (см. фиг. 2) состоит из матнИТов 16 и мапнитопроводов 17.

Магниторазрядный геттерно-ионный насос работает следующим образом.

Через патрубок 2 создается начальное разрежение в насосе (например, цеолитовьш насосом), необходимое для его запуска. Затем

запускают магниторазрядные блоки 5, в результате работы которых во внутреннем объеме насоса создается разрежение за счет поглощения газа на поверхностях электродной системы этих блоков, а также за счет поглощения титаном, напыляемым на внешней стороне сорбционной поверхности 8. При достижении разрежения порядка 5-10 мм рт. ст. включается накальное испарительное устройство геттера, состоящее из анода // и испарителя 12, и титан напыляется на внутренней стороне сорбционной поверхности 8, в винтовой полости которого циркулирует хладагент (например, вода или жидкий азот). В результате совместной .ра-боты магниторазрядных блоков, накального испарительного устройства геттера насос хорошо откачи