СПОСОБ КОНТРОЛЯ ПРОЦЕССА ИСПАРЕНИЯ МАТЕРИАЛАВ ВАКУУМЕ Советский патент 1967 года по МПК F04B37/06 H01J19/70 

Известные способы контроля скорОСтн испарения - метод ионизационного манометра, кварцевого резонатора и др. - мало пригодны для использования в геттерно-ионных насосах. Обычно ,в таких напылительных устройствах испарение с прямонакальных и подогревных испарителей контролируют, регулируют и стабилизируют по одному из параметров накала (току, напряжению или удельной мощности). Однако такой способ не обеспечивает удовлетворительной точности регулирования и стабилизации процесса испарения, так KaiK поверхность испарителя и его сопротивление меняются с течением времени не по ЛИнейнОму за-кону.

Предлагаемый способ отличается от известных тем, что измеряют термоэлектронный ток с иснарителя при его рабочей температуре, по величине которого судят о скорости испарения.

Для регистрации то-ка эмиссии вблизи испарителя располагают дополнительный электрод (анод), имеющий положительный потенциал относительно испарителя. Р1опаритель будет служить источником электронов (катодом). Ко1нтроль тока эмиссии, начиная от нескольких микроампер и более, достаточно просг. Регулирование или автоматическое поддержание постоянной скорости испарения может быть осуществлено либо прямым регулированием, лиоо Через обратную связь с помощью несложных средств, воздействующих на режим питания испарителя. В качестве обратной связи для стабилизации режима питания испарителя и, следовательно, скорости иснарения -по току термоэлектронной эмиссии служить одна из простых схем стабилизации, имеющая достаточную чувствительность.

Возможность контроля скорости испарения по току термоэлектронной эмиссии основывается на известном факте, что механизм испускания электронов накаленным катодом

аналогичен испарению атомов из твердого тела. Измеренная для титана зависимость тока электронной эмиссии от скорости испарения при изменении температуры показывает, что эмиссии изменяется пропорционально скорости испарения. Проведенная проверка на прямонакальных титано-молибденовых испарителях геттерно-иопных насосов показала, что скорость испарения титана пра постоянном токе термоэлектронной эмиссии

в вакууме мм рт. ст. сохраняется с течением времени постоянной в пределах 4-8%. Это доказывает достаточную надежность способа для технических применений в условиях изменяющегося в процессе испаре3Предмет изобретения Способ контроля процесса испарения материала в вакууме с металлических прямонакальных или .подогревных испарителей, иа- 5 пример .в геттер«о-ионных насосах, отличаю4щийся тем, что, с целью повышения точности контроля, измеряют термоэлектронный ток с испарителя при его рабочей температуре, по величине которого судят о скорости иопарения,