Изобретение относится к вакуумной технике, в частности к сорбционным насосам.
Известны сорбционно-ионные вакуумные насосы без магнитного поля, в которых в качестве геттера используется титан, а источником электронов служит высокотемпературный вольфрамовый катод.
Известны также конструкции, в которых источником электронов служит сам прямонакальный испаритель титана, а для обеспечения необходимой ионизации при малом токе термоэмиссии испарителя применено магнитное поле.
Предлагаемый сорбционно-ионный насос без магнитного поля отличается от известных конструкций тем, что в нем совмещены функции испарителя и катода в одном рабочем элементе (испарителе-эмиттере) из специального сплава с повышенной термоэлектронной эмиссией.
В качестве материала для испарителей-эмиттеров титана предлагается сплав титана и ниобия с присадкой гексаборида лантана, обладающий при температурах достаточно интенсивного испарения титана высокой термоэлектрической эмиссией.
Удельная термоэмиссия предлагаемого сплава в 200 раз превышает эмиссию промыщленного образца прямонакального испарителя.
Введение гексаборида лантана в сплав титана с ниобием дает возможность получить качественно новый испаритель-эмиттер, обладающий рядом важнейших свойств.
1.Малой работой выхода (3,17±0,05 эв),
2.Мелкокристаллической структурой (следовательно, сплав имеет большее время рекристаллизации, чем исходный бинарный сплав). Изменяя процентное содержание тугоплавкого компонента и легирующей добавки можно варьировать в некоторых пределах скорость испарения титана и термоэмиссию и приготовлять сплавы с повыщенной термоэмиссионной способностью, применимые не только для сорбционно-ионных насосов, а для ряда специальных электровакуумных приборов.
Предметизобретения
1.Сорбционно-ионный насос с испарителем, выполненным на основе титана, отличающийся тем, что, с целью упрощения конструкции насоса, материал испарителя содержит присадку
гексаборида лантана.
2.Насос по п. 1, отличающийся тем, что материал испарителя содержит 0,2-3 (вес) % гексаборида лантана.
название | год | авторы | номер документа |
---|---|---|---|
ТЕРМОЭМИССИОННЫЙ МАТЕРИАЛ НА ОСНОВ'Е ^' ГЕКСАБОРИДА ЛАНТАНА-—— | 1970 |
|
SU280601A1 |
ИОННО-СОРБЦИОННЫЙ НАСОС | 1971 |
|
SU297802A1 |
СПОСОБ КОНТРОЛЯ ПРОЦЕССА ИСПАРЕНИЯ МАТЕРИАЛАВ ВАКУУМЕ | 1967 |
|
SU204484A1 |
Сорбционный вакуумный насос | 1961 |
|
SU147287A1 |
ИОННО-СОРБЦИОННЫЙ НАСОС ОРБИТРОННОГО ТИПА | 1972 |
|
SU354175A1 |
КАТОД ПРЯМОГО НАКАЛА И СПОСОБ ЕГО ИЗГОТОВЛЕНИЯ | 2006 |
|
RU2314592C1 |
СПОСОБ ИОННОЙ ОБРАБОТКИ ДЕТАЛЕЙ МАШИН И ИНСТРУМЕНТОВ И УСТРОЙСТВО ДЛЯ ЕГО ОСУЩЕСТВЛЕНИЯ | 1993 |
|
RU2078847C1 |
СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ЭМИТТЕРОВ ЭЛЕКТРОНОВ И УСТРОЙСТВО ДЛЯ ЕГО ОСУЩЕСТВЛЕНИЯ | 2010 |
|
RU2447537C1 |
ПОЛЫЙ КАТОД | 2017 |
|
RU2667155C1 |
Способ изготовления термоэлектронных эмиттеров | 1982 |
|
SU1056304A1 |
Авторы
Даты
1968-01-01—Публикация