СОРБЦИОННО-ИОННЫЙ НАСОС Советский патент 1968 года по МПК F04B37/04 H01J19/70 

Изобретение относится к вакуумной технике, в частности к сорбционным насосам.

Известны сорбционно-ионные вакуумные насосы без магнитного поля, в которых в качестве геттера используется титан, а источником электронов служит высокотемпературный вольфрамовый катод.

Известны также конструкции, в которых источником электронов служит сам прямонакальный испаритель титана, а для обеспечения необходимой ионизации при малом токе термоэмиссии испарителя применено магнитное поле.

Предлагаемый сорбционно-ионный насос без магнитного поля отличается от известных конструкций тем, что в нем совмещены функции испарителя и катода в одном рабочем элементе (испарителе-эмиттере) из специального сплава с повышенной термоэлектронной эмиссией.

В качестве материала для испарителей-эмиттеров титана предлагается сплав титана и ниобия с присадкой гексаборида лантана, обладающий при температурах достаточно интенсивного испарения титана высокой термоэлектрической эмиссией.

Удельная термоэмиссия предлагаемого сплава в 200 раз превышает эмиссию промыщленного образца прямонакального испарителя.

Введение гексаборида лантана в сплав титана с ниобием дает возможность получить качественно новый испаритель-эмиттер, обладающий рядом важнейших свойств.

1.Малой работой выхода (3,17±0,05 эв),

2.Мелкокристаллической структурой (следовательно, сплав имеет большее время рекристаллизации, чем исходный бинарный сплав). Изменяя процентное содержание тугоплавкого компонента и легирующей добавки можно варьировать в некоторых пределах скорость испарения титана и термоэмиссию и приготовлять сплавы с повыщенной термоэмиссионной способностью, применимые не только для сорбционно-ионных насосов, а для ряда специальных электровакуумных приборов.

Предметизобретения

1.Сорбционно-ионный насос с испарителем, выполненным на основе титана, отличающийся тем, что, с целью упрощения конструкции насоса, материал испарителя содержит присадку

гексаборида лантана.

2.Насос по п. 1, отличающийся тем, что материал испарителя содержит 0,2-3 (вес) % гексаборида лантана.