СПОСОБ ИЗМЕРЕНИЯ ТЕПЛОВОГО СОПРОТИВЛЕНИЯ /) —/г-ПЕРЕХОДОВ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПРИБОРОВ Советский патент 1967 года по МПК G01R31/26 

Известны способы измерения теплового сопротивления р-п-перехода иолупрозодниковы.х приборов при помонди разогрева их импульсами прямого тока нагрева с последуюпшм измерением порогового напря/кения, являюи1,егося температуро-зависимым параметром, путем пропускания прямого измерительного тока.

Этим методам свойственна погрешность измерения, обусловленная конечным временем рассасывания заряда неравновесных носителей, накопленного в базе за время протекания тока нагрева. Во время рассасывания пороговое напряжение не достигает мнни.мума, соответствующего максимальной температуре нагрева. Задержка измерения этого минимума вносит в результат измерения погрешность вследствие остывания кристалла после снятия греющего импульса.

В способе, осуществленном согласно изобретению, указанный недостаток устранен тем, что задний фронт тока нагрева растягивают на время, равное 70-80о/о времени рассасывання.

Во время затягивания заднего фронта время рассасывания не увеличивается, а температура р-я-перехода снижается медленнее, что уменьшает вышеуказанную погрешность измерения.

С другой стороны, рассасывання у.меньи:ается с увеличением измерительиого тока. Однако, чтобы измерительный ток не вызывал дополнительного, неучитываемого нагрева криста.:тла, его подают в виде короткого, порядка времени жизни неосновных носителей заряда, импульса, мощность потерь которого не превышает 3% средней мощности режима разогрева.

Предмет изобретения

1.Способ измерения теплового еонрот вления /;-«-переходов полупроводниковых приборов при помонц разогрева их импульсами прямого тока нагрева с последующим измерением порогового напряжения, являющегося темиературо-зависимым параметром, путем нропуекання прямого измерительного тока, отличающийся тем, что, с нелью уменьшения ногрешности нзмерення, обусловленной конечным временем рассасывання заряда неравновесн-ы.х носителей, задний фронт тока нагрева растягивают па время, равное 70-80i/o времени рассасывания,

2.Способ по li. 1, отличаю11{пися тем, что измерительный ток подают в виде короткого, порядка времени жизни неосновных носителей заряда, импульса, мощность потерь которого не превышает Зо/о: средней мощности режима разогрева.