СОРБЦИОННО-ИОННЫЙ ВАКУУМНЫЙ НАСОС Советский патент 1968 года по МПК F04B37/04 H01J19/70 

Изобретение предназначено для иепользования в вакуумной технике для получения вакуума от 10-5 до 10 12 Л1М рт. ст.

Извеетны еорбционно-ионные вакуумные насосы, в которых в качестве геттера иепользуетея титан, а в ионизационном устройстве применяется накаленный вольфрамовый катод. Однако ионизация в таком устройстве часто является недоетаточной и ее приходится увеличивать с помощью магнитных полей, что значительно усложняет конструкцию насоса.

Предлагаемый насос отличается от известных тем, что в качестве рабочего вещества насоса использована смесь двух щелочных металлов, один из которых (или оба) дает пленки, интенсивно поглощающие газы в результате сорбции, а другой металл при запыленин поверхности катода ионизатора или испарителя-катода из сплавов титана с тугоплавкими металлами вызывает увеличение электронной эмиссии вследствие снижения работы выхода материала катода. В качестве такой смеси может быть использована, например, смееь лития и цезия.

В корпусе насоса расположен охлаждаемый водой или жидким азотом медный экран, на который напыляется емесь щелочных металлов {лнтни + 5-10%) цезия. Сосуд, из которого происходит напыление, закрыт мембраной, выполненной из титановой жести толщиной около 0,5 мм, обеспечивающей выход тольР, непосредственной

ко щелочных металлов.

близости от доныщка сосуда в зоне запыления помещен вольфрамовый катод или испаритель-катод для ионизации газа. Для увеличения скорости электронов в насосе имеется молибденовая сетка. После 2-3 час прогрева сосуда появляется стабильный поток паров щелочных металлов через мембрану. Количе0ство поступающих в сосуд щелочных металлов регулируется игольчатым вентилем.

Попадая па нагретый вольфрамовый катод, атомы щелочных металлов увеличивают электроииую эмиссию катода, обеспечивая ионизацию газа. При использовании испарителя катода из сплавов титана с тугоплавкими металлами поглощение газов будет происходить одповременно на пленках титана и щелочного металла. Целесообразно для поглощения газов использовать титан из испарптеля-катода, а цезий использовать периодически для активации катода.

Предмет изобретения

1. Сорбционно-ионный вакуумный насос, отличающийся тем, что, е целью новыщення екорости электрического поглощения газов ири сохранении высокой скорости сорбциоиной откачкн, в качестве рабочего вегцества насоса 3 использована смесь металлов, один из которых обладает сорбционными свойствами, а другой при напылении на поверхность иоиизатора увеличивает его электронную эмиссию. 4 2. Насос по п. 1, отличающийся тем, что в нем использована смесь лития и цезия, 3. Насос по пп. 1 и 2, отличающийся тем, что указанная смесь содержит 5-10% цезия.